Способ и устройство регулирования толщины слоя материала покрытия, наносимого на перемещающееся в продольном направлении полотно - RU2004138000A

Реферат

1. Способ регулирования толщины слоя материала покрытия, наносимого на перемещающееся в продольном направлении полотно, отличающийся тем, что толщину слоя измеряют в нескольких точках по ширине полотна и регулируют установку для нанесения слоя таким образом, чтобы ширина слоя оставалась постоянной по ширине полотна.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал покрытия преимущественно не обладает поглощающей способностью.

3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что толщину слоя из материала, преимущественно не обладающего поглощающей способностью, определяют следующим образом:

a) направляют на поверхность материала покрытия световой луч с переменной длиной волны,

b) измеряют коэффициент отражения светового луча от поверхности материала покрытия в зависимости от длины волны,

c) определяют зависящие от длины волны максимальные/минимальные значения отраженного светового луча с переменной длиной волны с учетом эффекта интерференции.

4. Способ по п.3, отличающийся тем, что максимальную или минимальную толщину d слоя определяют при помощи уравнения n·d=λ/4, в котором λ означает длину световой волны, на которой зафиксировано максимальное или минимальное значение, а n означает показатель преломления.

5. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что покрытие наносят путем осаждения материала покрытия из паровой фазы.

6. Способ по п.5, отличающийся тем, что материал покрытия испаряют путем нагревания тиглей для испарения в зависимости от их местоположения.

7. Способ по п.5, отличающийся тем, что материал покрытия испаряют при помощи электронных лучей, после чего наносят на полотно.

8. Способ по п.7, отличающийся тем, что на основании данных измерения толщины слоя на электронные лучи воздействуют таким образом, чтобы получить слой равномерной толщины по ширине полотна.

9. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополнительно измеряют коэффициент пропускания материала покрытия.

10. Способ по п.9, отличающийся тем, что на основании измеренного коэффициента пропускания регулируют приток химически активного газа.

11. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что в качестве испаряемого материала используют алюминий, а в качестве химически активного газа используют кислород.

12. Способ по п.1, отличающийся тем, что дополнительно регулируют состав слоя таким образом, чтоб он оставался постоянным.

13. Устройство для осуществления способа по п.1, отличающееся тем, что

a) по ширине пленки (5), на которую наносят покрытие расположено несколько приборов (40-45), измеряющих коэффициент отражения,

b) для оценки сигналов, поступающих от приборов (40-45), измеряющих коэффициент отражения, предусмотрена оценочная схема (52),

c) конфигурация схемы позволяет регулировать интенсивность и угол отклонения электронного луча (28, 29) или мощность нагревания тиглей для испарения материала покрытия.

14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что приборы (40-45), измеряющие коэффициент отражения, при помощи оптических волноводов соединены с общим источником света.

15. Устройство по п.13, отличающееся тем, что предусмотрен прибор (54, 55), измеряющий коэффициент пропускания, который служит для регулирования состава слоя.