Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок - RU2005134709A
Код документа: RU2005134709A
Реферат
Дистанционный трехволновой способ измерения толщины тонких пленок на поверхности материала путем облучения поверхности оптическим излучением, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определения толщины пленки по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала от длины волны, отличающийся тем, что облучение поверхности проводят на трех близко расположенных друг к другу длинах волн зондирования, а толщину пленки определяют по результатам анализа интенсивности отраженного сигнала на этих трех длинах волн.
