Способ калибровки энергии импульса лазерного устройства с использованием когерентного оптического интерферометра - RU2011109924A

Реферат

1. Способ калибровки энергии импульса лазерного устройства, обеспечивающего получение рабочего импульсного лазерного излучения, включающий выполнение на одном или более тестовых объектах посредством рабочего лазерного излучения тестовых абляций, преимущественно тестовых абляций посредством множества импульсов, с различным значением энергии для каждой из указанных абляций, измерение глубины каждой из тестовых абляций и на основе измеренных значений глубины абляции и уставки глубины абляции определение и задание на лазерном устройстве соответствующей уставки энергии импульса, отличающийся тем, что измерения значений глубины абляции производят посредством когерентного оптического интерферометрического измерительного устройства. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что измерительное устройство функционирует по принципу оптической низкокогерентной рефлектометрии. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что значения глубины абляции измеряют с использованием формируемого измерительным устройством измерительного пучка, совпадающего по направлению с рабочим лазерным излучением. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что тестовые абляции выполняют на одном тестовом объекте, который перемещают относительно измерительного устройства в интервалах между последовательными тестовыми абляциями. ! 5. Способ по п.4, отличающийся тем, что тестовые абляции выполняют на расстоянии от центра тестового диска, используемого в качестве тестового объекта, при этом в интервалах между последовательными тестовыми абляциями тестовый диск поворачивают на заданный угол. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что на тестовом объект