Система литографии с модулем дифференциального интерферометра - RU2013148110A

Реферат

1. Способ предварительного выравнивания модуля интерферометра для использования в средстве экспонирования, содержащем основание, снабженное первыми установочными поверхностями и зеркалом для отражения луча интерферометра, причем упомянутый модуль содержит головку интерферометра для излучения луча интерферометра и причем упомянутый модуль соединен со вторыми установочными поверхностями для взаимного контактирования с упомянутыми первыми установочными поверхностями, причем упомянутый способ содержит этап, на котором:выравнивают ориентацию упомянутого модуля относительно упомянутых вторых установочных поверхностей за пределами упомянутого средства экспонирования, причем упомянутую ориентацию упомянутого модуля относительно упомянутых вторых установочных поверхностей выравнивают на основании заданной ориентации упомянутой первой установочной поверхности относительно упомянутого зеркала.2. Способ по п. 1, в котором упомянутый этап выравнивания содержит этапы, на которых:обеспечивают выравнивающее основание, расположенное на расстоянии от упомянутого средства экспонирования и содержащее третьи установочные поверхности для взаимного контактирования с упомянутыми вторыми установочными поверхностями, и датчик для определения, излучается ли луч, излучаемый упомянутой головкой интерферометра, в заданное местоположение,устанавливают упомянутый модуль интерферометра с упомянутыми вторыми установочными поверхностями на упомянутые третьи установочные поверхности упомянутого выравнивающего основания,излучают луч посредством упомянутой головки интерферометра икорректируют ориентацию у