Способ для определения толщины слоя электрически проводящего покрытия на электрически проводящей подложке - RU2008152770A

Реферат

1. Способ для определения толщины слоя электрически проводящего покрытия (52), которое размещено на электрически проводящей подложке (50) испытываемого объекта, причем способ содержит следующие этапы: ! i) определение индуцированного напряжения (U(воздух, ω)) в датчике вихревых токов в воздухе как функции частоты (ω) поля возбуждения, ! j) предоставление множества снабженных покрытием эталонных объектов, которые, соответственно, включают в себя подложку и покрытие из тех же материалов, что и у подложки (50) и покрытия (52) испытываемого объекта, причем эталонные объекты имеют различные известные толщины слоя, ! k) определение эталонного напряжения (U(х, ω)) как функции частоты (ω) поля возбуждения для каждого эталонного объекта посредством датчика вихревых токов, ! l) определение индуцированного в материале напряжения (Umat(x)) из эталонного напряжения (U(x, ω) и индуцированного напряжения (U(воздух, ω)) датчика вихревых токов в воздухе как функции частоты (ω) для каждого эталонного объекта, ! m) формирование нормированной амплитуды индуцированного в материале напряжения (Umat(x)) как функции частоты (ω) для каждого эталонного объекта, ! n) установление калибровочной кривой, которая представляет нормированную амплитуду индуцированного в материале напряжения (Umat(x)) как функцию толщины (d1) слоя покрытия (52), ! o) выполнение этапов (c)-(e) с испытываемым объектом, и ! p) определение толщины (d1) слоя покрытия (52) испытываемого объекта из нормированной амплитуды посредством калибровочной кривой. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что индуцированное в материале напряжение (Umat(x)) равно вектору разности в плоскости комплексного напряжения между вект�