Интегральная система датчиков - RU2012132633A

Реферат

1. Интегральная система датчиков для литографической машины, содержащая:систему (132) проекционного объектива для фокусировки одного или более экспонирующих пучков на мишень;подвижный стол (134) для транспортировки мишени (9);емкостную измерительную систему (300) для проведения измерений, связанных с расстоянием между последним фокусирующим элементом системы (104) проекционного объектива и поверхностью мишени (9); иблок (400) управления для управления перемещением подвижного стола (134), чтобы регулировать положение мишени (9), по меньшей мере частично, на основании сигнала из емкостной измерительной системы, причем емкостная измерительная система (300) содержит множество емкостных датчиков (30), каждый из которых содержит тонкопленочную структуру,в которой емкостные датчики и последний фокусирующий элемент (104) системы проекционного объектива установлены непосредственно на общем основании (112), ив которой датчики расположены в непосредственной близости к краю последнего фокусирующего элемента системы проекционного объектива.2. Интегральная система датчиков по п.1, в которой, по меньшей мере, некоторые из датчиков (30) расположены так, что нижняя поверхность измерительного электрода (31) датчика, обращенная к мишени, находится, по существу, на той же самой высоте, что и нижняя поверхность последнего фокусирующего элемента (104) системы проекционного объектива в направлении оси z, перпендикулярном к поверхности мишени (9).3. Интегральная система датчиков по п.1 или 2, в которой по меньшей мере некоторые из датчиков (30) имеют нижнюю поверхность измерительного электрода (31) датчика, обращенную к мишени, которая расположена в пределах