Способ экспонирования - RU2012132634A

Реферат

1. Способ экспонирования поверхности мишени (9) в системе, содержащей проекционный объектив (104) для фокусировки одного или более пучков на поверхности для экспонирования мишени, и набор датчиков (30), установленный в фиксированном взаимном расположении относительно проекционного объектива, для измерения расстояния до мишени, причем способ содержит этапы, на которых:закрепляют мишень на подвижном столе (134);перемещают мишень во множество положений, в которых один или более датчиков расположены над мишенью;принимают сигналы от одного или более датчиков, расположенных над мишенью;вычисляют одно или более значений (Rx, Ry) коррекции наклона на основании сигналов, принятых от датчиков;регулируют наклон стола на основании одного или более значений коррекции наклона перед экспонированием;экспонируют мишень; ирегулируют положение стола по вертикали во время экспонирования на основании сигналов, принятых из датчиков.2. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап, на котором: получают карту высот для отклонений высоты по поверхности площади мишени, подлежащей экспонированию, из сигналов, принятых от датчиков, и при этом регулировка положения стола по вертикали во время экспонирования основана на карте высот.3. Способ по п.1, в котором регулировка положения стола по вертикали во время экспонирования основана на интерполяции между измеренными значениями от датчиков.4. Способ по любому из предыдущих пунктов, в котором наклон стола регулируют однократно при каждом экспонировании мишени на основании одного или более значений (Rx, Ry) коррекции наклона.5. Способ по любому из пп.1-3, в котором вычисляют множество наборов значений (R