Емкостная измерительная система - RU2012132637A

Реферат

1. Емкостная измерительная система, содержащая пару датчиков, сконструированную в виде единого интегрального блока, имеющего тонкопленочную структуру, причем каждый датчик (30a, 30b) из пары датчиков имеет отдельный измерительный электрод (31a, 31b), сформированный из первой проводящей пленки на первой поверхности единого первого изолирующего слоя (34), и каждый датчик имеет отдельный задний охранный электрод (35), сформированный из второй проводящей пленки, причем задний охранный электрод сформирован в одной плоскости и содержит периферийную часть, расположенную в той же самой плоскости, задний охранный электрод расположен на второй поверхности первого изолирующего слоя (34) и первой поверхности единого второго изолирующего слоя (43), причем периферийная часть каждого заднего охранного электрода продолжается за пределы каждого измерительного электрода, образуя боковые охранные электроды, которые по существу или полностью окружают измерительный электрод.2. Емкостная измерительная система по п.1, в которой тонкопленочная структура дополнительно содержит удлиненный соединительный элемент (110), содержащий гибкую мембрану, на которой напечатаны или к которой прикреплены токопроводящие дорожки (114a-114c), причем токопроводящие дорожки электрически соединены с измерительными электродами (31a, 31b) и с задними охранными электродами (35a, 35b) датчиков на одном конце и с соединителем (116) на другом конце.3. Емкостная измерительная система по п.1, в которой изолирующий слой (34) содержит первую область, где сформированы измерительные электроды (31a, 31b), и вторую удлиненную область, на которой сформированы токопроводящие дорожки (114a-114c).4. Е�