Способ получения керамического проводника, система для его получения и сверхпроводящий проводник с его применением - RU2012134904A

Реферат

1. Способ получения керамического проводника, включающий:осаждение керамической пленки-предшественника на подложку проводника и термообработку подложки проводника, на которой осаждена керамическая пленка-предшественник, включающую:регулирование температуры подложки проводника и/или парциального давления кислорода в технологической камере, в которой находится подложка проводника, таким образом, что керамическая пленка-предшественник находится в жидком состоянии; иформирование эпитаксиальной керамической пленки из жидкой керамической пленки-предшественника на подложке проводника.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что регулирование температуры подложки проводника включает повышение температуры подложки проводника, а образование эпитаксиальной керамической пленки включает понижение температуры подложки проводника.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что регулирование парциального давления кислорода вокруг подложки проводника или формирование эпитаксиальной керамической пленки включает повышение парциального давления кислорода вокруг подложки проводника.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение керамической пленки-предшественника и термообработку подложки проводника соответственно проводят в пространствах, разделенных друг от друга.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что технологическая камера включает первый контейнер, второй контейнер и третий контейнер, которые расположены в указанном порядке, при этом термообработку подложки проводника последовательно проводят в первом контейнере, втором контейнере и третьем контейнере, через которые непрерывно пропускают подложку проводника.6. �