Способ пропитки кремнием полых изделий из пористого материала, содержащего карбид кремния, и устройство для его осуществления - RU2015151025A
Код документа: RU2015151025A
Формула
1. Способ пропитки кремнием полых изделий из пористого материала, содержащего карбид кремния, заключающийся в приведении изделия в контакт с расплавом кремния с помощью элемента с капиллярной структурой, нагреве кремния до 1430-1700°C и изделия до 1260-1400°C, выдержке при указанных температурах и охлаждении при осевом градиенте температуры в изделии 25-60°C⋅м-1, отличающийся тем, что транспортирование кремния к изделию осуществляется по элементу с капиллярной структурой, оканчивающемуся наконечником из кварцевой трубки с капиллярным центральным отверстием, обеспечивающим истечение расплава кремния со скоростью 15-25 г/мин.
2. Устройство для пропитки кремнием полых изделий из пористого материала, содержащего карбид кремния, состоящее из герметичной камеры, установленного в ней резистивного нагревателя, тигля, питателя, выполненного из материала с капиллярной структурой, подставки и экрана, расположенного между нагревателем и изделием, имеющего высоту не менее высоты изделия и переменную толщину b по высоте, определяемую по формуле
где T1 - температура изделия, °C;
Tz - температура расплава, °C;
Н - высота экрана, мм;
h - расстояние от основания экрана, мм;
30 - экспериментальный коэффициент, мм,
отличающееся тем, что транспортирующий расплавленный кремний к изделию от тигля элемент с капиллярной структурой оканчивается наконечником из кварцевой трубки с капиллярным центральным отверстием диаметром 0,5-1,0 мм и расположенным над пропитываемой заготовкой на расстоянии 5-10 мм.
