Тигель из пиролитического нитрида бора и способ его изготовлени  - RU2002114217A

Реферат

1. Изделие, состоящее из первого множества слоев, содержащих пиролитический нитрид бора (ПНБ), и второго множества слоев, содержащих ПНБ и по меньшей мере одну элементарную присадку, выбранную из I-VII групп периодической таблицы элементов, или их сочетание, при этом указанное второе множество слоев отделяет некоторые или все слои первого множества присадкой, присутствующей в слоях второго множества в концентрации достаточной, чтобы вызывать отслоение по меньшей мере одного из слоев второго множества от слоя (слоев) первого множества при приложении некоторого усилия, и составляющей в среднем минимум 2 ат.% на глубине примерно от 1000 до 2000 ангстрем, измеренной от поверхности отделенного слоя, при этом каждый слой из второго множества находится на расстоянии от другого слоя, равном по меньшей мере одной десятой микрона.

2. Изделие по п.1, отличающееся тем, что каждый слой второго множества отделен от другого слоя расстоянием примерно от 0,1 до 100 мкм.

3. Изделие по п.2, отличающееся тем, что слои второго множества являются более тонкими, чем слои первого множества.

4. Изделие по п.3, отличающееся тем, что плоскости, по которым происходит отслаивание, являются по существу взаимно параллельными.

5. Изделие по п.4, отличающееся тем, что присадку выбирают из группы, содержащей углерод и/или кислород или их смесь.

6. Изделие по п.5, отличающееся тем, что суммарная средняя концентрация присадок О и С превышает 3,5 ат.% на расстоянии от 1000 до 2000 ангстрем от каждой поверхности отслаивания.

7. Изделие по п.6, отличающееся тем, что среднее сопротивление отслаиванию каждого отделяющегося слоя составляет от 2 до 5 Н/мм.

8. Изделие по п.1, отличающееся тем, что слои первого множества дополнительно включают один или несколько вспомогательных компонентов, выбранных из группы, включающей Si₃N₄, SiC, AIN, TiN, С, карбонитрид бора, оксинитрид бора и оксикарбид бора.

9. Изделие по п.8, отличающееся тем, что содержание вспомогательных компонентов имеет градиент в направлении осаждения, при этом содержание по меньшей мере одного элемента изменяется в пределах, превышающих 0,1%.

10. Способ получения изделия из пиролитического нитрида бора, включающий операции введения паров аммиака и газообразного галогенида бора в соответствующем отношении в нагретую реакторную печь с тем, чтобы вызвать осаждение слоев нитрида бора на подложке, введения в печь через регулируемые периодические интервалы времени по меньшей мере одной газообразной примеси так, чтобы по меньшей мере два выбранных слоя нитрида бора легировать указанными одной или несколькими газообразными примесями при минимальной средней концентрации 2 ат.% на глубине примерно от 1000 до 2000 ангстрем в каждом выбранном слое, регулирование интервала времени, в течение которого осуществляют введение с тем, чтобы разделить выбранные слои расстоянием примерно от 0,1 до 100 мкм, и отделение изделия от подложки.

11. Способ по п.10, отличающийся тем, что скорости потоков аммиака и газообразного галогенида бора изменяют во время введения присадки.

12. Изделие, состоящее из слоев пиролитического нитрида бора (ПНБ), отделенных слоями ПНБ, легированными одним или несколькими элементами, выбранными из групп I-VII периодической таблицы, или их сочетаниями в концентрации, достаточной для того, чтобы вызывать отделение слоев при средней минимальной концентрации присадок в каждом легированном слое, превышающей 2 ат.% на глубине в пределах от 1000 до 2000 ангстрем, измеренной от поверхности отделенного слоя, при этом каждый легированный слой находится на расстоянии от другого слоя, равном по меньшей мере одной десятой микрона.

13. Изделие по п.12, отличающееся тем, что легированные слои разделены расстоянием примерно от 0,1 до 100 мкм.

14. Изделие по п.13, отличающееся тем, что легированные слои имеют толщину, в 2-10000 раз меньшую, чем толщина других слоев ПНБ.

15. Изделие по п.14, отличающееся тем, что плоскости, по которым происходит отслаивание, являются по существу взаимно параллельными.

16. Изделие по п.15, отличающееся тем, что присадку выбирают из группы, содержащей углерод и/или кислород или их смесь.

17. Изделие по п.16, отличающееся тем, что суммарная средняя концентрация присадок О и С превышает 3,5 ат.% на расстоянии от 1000 до 2000 ангстрем от поверхности отслаивания.

18. Изделие по п.17, отличающееся тем, что среднее сопротивление отслаиванию каждого отделяющегося слоя превышает 2 Н/мм.

19. Изделие, состоящее из слоев пиролитического нитрида бора (ПНБ), отделенных слоями ПНБ, легированными одним или несколькими элементами, выбранными из групп I-VII периодической таблицы, или их сочетаниями в концентрации, достаточной для того, чтобы вызывать отделение слоев при средней минимальной концентрации присадок в каждом легированном слое, превышающей 2 ат.% на глубине в пределах от 1000 до 2000 ангстрем, измеренной от поверхности отделенного слоя, при этом максимальная и минимальная толщина легированных слоев отличается менее чем в 1000 раз, и каждый легированный слой находится на расстоянии от другого слоя, равном по меньшей мере одной десятой микрона.

20. Изделие по п.19, отличающееся тем, что легированные слои отделены расстоянием примерно от 0,1 до 100 мкм.

21. Изделие по п.20, отличающееся тем, что легированные слои имеют толщину, в 2-10000 раз меньшую, чем толщина других слоев ПНБ.

22. Изделие по п.21, отличающееся тем, что плоскости, по которым происходит отслаивание, являются по существу взаимно параллельными.

23. Изделие по п.22, отличающееся тем, что присадку выбирают из группы, содержащей углерод и/или кислород или их смесь.

24. Изделие по п.23, отличающееся тем, что суммарная средняя концентрация присадок О и С превышает 3,5 ат.% на расстоянии от 1000 до 2000 ангстрем от поверхности отслаивания.

25. Изделие по п.24, отличающееся тем, что среднее сопротивление отслаиванию каждого отделяющегося слоя составляет от 2 до 5 Н/мм.