Резервуар для приема расплавленного кремния или для плавления кремния и способ его изготовления - RU2005117970A

Реферат

1. Резервуар для приема расплавленного кремния или для плавления кремния, который имеет напыленное покрытие из кремниевого композитного термета, содержащего металлический кремний, нитрид кремния и оксид кремния, по меньшей мере на части внутренней стенки резервуара для хранения кремния, отличающийся тем, что налыленное покрытие из кремниевого композитного термета имеет следующее отношение концентраций металлического кремния (X) к нитриду кремния (Y) и к оксиду кремния (Z): X:Y:Z=20-50:77-30:3-20.

2. Резервуар по п.1, отличающийся тем, что напыленное покрытие из кремниевого композитного термета образуют за счет напыления материала в виде кремниевого композитного термета, полученного за счет добавки металлического кремния, в качестве связующего материала, в смесь Si₂N₄ и SiO₂.

3. Резервуар по п.1 или 2, отличающийся тем, что он изготовлен из материала, который содержит оксид кремния, нитрид бора и/или графит.

4. Резервуар по п.3, в котором оксид кремния (SiO₂) представляет собой уплотненный или спеченный плавленый кварц.

5. Резервуар по п.1, отличающийся тем, что покрытие имеет толщину 20-500 мкм, преимущественно 50-300 мкм.

6. Способ изготовления резервуара для приема расплавленного кремния или для плавления кремния, который предусматривает напыление материала в виде кремниевого композитного термета, который содержит металлический кремний, нитрид кремния и оксид кремния, на внутреннюю стенку указанного резервуара, в результате чего образуется напыленное покрытие из кремниевого композитного термета, причем напыленное покрытие из кремниевого термета имеет следующее отношение концентраций металлического кремния (X) к нитриду кремния (Y) и к оксиду кремния (Z): X:Y:Z=20-50:77-30:3-20.

7. Способ по п.6, в котором указанный резервуар изготавливают из материала, содержащего оксид кремния, нитрид бора и/или графит, преимущественно уплотненный или спеченный плавленый кварц.