Тигель для кристаллизации кремния и способ его изготовления - RU2008117093A

Реферат

1. Тигель (1) для кристаллизации кремния, который содержит ! a) основание (2), имеющее нижнюю поверхность (21) и боковые стенки (22), образующие внутренний объем; ! b) защитное покрытие (3) на базе нитрида кремния, обращенное к внутреннему объему; ! отличающийся тем, что указанное защитное покрытие (3) содержит от 80 до 95 вес.% нитрида кремния, от 5 до 20 вес.% низкотемпературного минерального связующего материала, при полном содержании кислорода в диапазоне от 5 до 15% по весу. ! 2. Тигель по п.1, отличающийся тем, что полное содержание кислорода находится в диапазоне от 8 до 12% по весу. ! 3. Тигель по п.1, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния (3) имеет толщину от 50 до 500 мкм, преимущественно от 200 до 500 мкм. ! 4. Тигель по п.1, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния содержит частицы размером ≤1 мкм, ! 5. Тигель по п.4, отличающийся тем, что защитное покрытие из нитрида кремния также содержит более крупные частицы. ! 6. Тигель по п.5, отличающийся тем, что крупные частицы имеют размеры от 2 до 50 мкм, преимущественно от 2 до 5 мкм. ! 7. Тигель по п.4, отличающийся тем, что количество крупных частиц составляет от 20 до 50% по весу. ! 8. Тигель по одному из пп.1-7, отличающийся тем, что низкотемпературный минеральный связующий материал содержит металлоорганическое соединение на базе кремния, преимущественно выбранное из группы, в которую входят силоксан, тетраэтилортосиликат, тетраатоксисилан, полидиметилсилан или их комбинация. ! 9. Тигель по одному из пп.1-7, отличающийся тем, что низкотемпературный минеральный связующий материал содержит связующий материал на базе диоксида кремния, преимущественно выбранный из группы, в которую вх