Способ обработки керамической подложки (варианты) - RU2005132523A

Реферат

1. Способ обработки керамической подложки, содержащей алюминий, который включает в себя следующие операции: использование суспензии, введенной между подложкой и обрабатывающим инструментом, причем суспензия содержит абразив и добавку, содержащую фосфорное соединение; и перемещение подложки относительно обрабатывающего инструмента.

2. Способ по п.1, в котором подложку полируют.

3. Способ по п.1, в котором абразив содержит оксид алюминия.

4. Способ по п.3, в котором оксид алюминия имеет средний размер частиц в диапазоне от 0,05 до 1,5 мкм.

5. Способ по п.4, в котором средний размер частиц лежит в диапазоне от 0,10 до 1,0 мкм.

6. Способ по п.5, в котором средний размер частиц лежит в диапазоне от 0,10 до 0,5 мкм.

7. Способ по п.1, в котором абразив выбирают из группы, в которую входят диоксид кремния, диоксид циркония, карбид кремния, карбид бора и алмаз.

8. Способ по п.7, в котором абразив представляет собой диоксид циркония.

9. Способ по п.1, в котором подложка представляет собой оксид алюминия.

10. Способ по п.9, в котором подложка представляет собой монокристаллический оксид алюминия.

11. Способ по п.9, в котором подложка представляет собой композицию, содержащую оксид алюминия и по меньшей мере один другой компонент.

12. Способ по п.11, в котором указанная композиция выбрана из группы, в которую входят алюминат иттрия, алюмосиликат, карбид алюминия и титана, оксинитрид алюминия, гранат и шпинель.

13. Способ по п.1, в котором подложка представляет собой не оксидную керамику, содержащую алюминий.

14. Способ по п.13, в котором не оксидную керамику выбирают из группы, в которую входит нитрид алюминия.

15. Способ по п.1, в котором добавка представляет собой оксофосфорное соединение.

16. Способ по п.15, в котором фосфор оксофосфорного соединения имеет валентное состояние 1, 3 или 5.

17. Способ по п.16, в котором фосфор имеет валентное состояние 5.

18. Способ по п.15, в котором добавка представляет собой органофосфорное соединение.

19. Способ по п.15, в котором добавку выбирают из группы, в которую входят фосфаты, пирофосфаты, гипофосфаты, субфосфаты, фосфиты, пирофосфиты, гипофосфиты, фосфонаты и фосфониевые соединения, а также их эфиры.

20. Способ по п.19, в котором добавку выбирают из группы, в которую входят фосфат калия, гексаметафосфат натрия, гидроксифосфоноуксусная кислота, амино-три-метиленфосфоновая кислота, гексакалийгексаметилендиаминтетра-(метилен фосфоновая кислота), 2-фосфонобутан-1,2,4-трикарбоновая кислота, фосфат кислый эфир этоксилированного фенола, гидроксиэтилидендифосфоновая кислота и фосфористая кислота.

21. Способ по п.1, в котором суспензия является водной.

22. Способ по п.21, в котором суспензия имеет рН не менее чем 8.

23. Способ по п.21, в котором суспензия имеет рН не менеее чем 8,5.

24. Способ по п.1, в котором обрабатывающий инструмент содержит полировальник на плите, причем обработку подложки производят за счет контакта обрабатывающего инструмента с подложкой, при перемещении подложки относительно плиты.

25. Способ по п.1, в котором плита вращается относительно подложки со скоростью не менее 2,0 м/с.

26. Способ по п.25, в котором указанная скорость составляет не менее 2,5 м/с.

27. Способ по п.1, в котором фосфорное соединение вводят в суспензию при концентрации в диапазоне от 0,05 до 5,0 вес.%.

28. Способ по п.1, в котором указанная концентрация лежит в диапазоне от 0,10 до 3,0 вес.%.

29. Способ по п.1, в котором указанная концентрация лежит в диапазоне от 0,10 до 1,0 вес.%.

30. Способ по п.1, в котором обработку подложки осуществляют таким образом, что отношение MRR_add/ MRR_con составляет не менее чем 1,2, причем MRR_add представляет собой скорость удаления материала при полировании подложки с использованием суспензии, содержащей абразив и добавку, a MRR_con представляет собой скорость удаления материала в идентичных условиях процесса, с использованием контрольной суспензии, не имеющей указанной добавки.

31. Способ обработки керамической подложки, содержащей алюминий, который включает в себя следующие операции: использование суспензии, которая содержит абразив и добавку, содержащую фосфорное соединение; ввод в контакт подложки с обрабатывающим инструментом, таким образом, что суспензия вводится между обрабатывающим инструментом и подложкой; и перемещение подложки или обрабатывающего инструмента таким образом, что подложка движется относительно обрабатывающего инструмента со скоростью не менее 2,0 м/с.

32. Способ по п.31, в котором по меньшей мере только плита или только подложка вращаются относительно друг друга.

33. Способ по п.32, в котором вращаются как плита, так и подложка.

34. Способ по п.31, в котором указанная скорость составляет не менее 2,5 м/с.

35. Способ по п.31, в котором указанная скорость составляет не менее 3,0 м/с.