Способ нанесения покрытия из оксида алюминия на подложку, покрытую карбидом кремния - RU2008117190A

Реферат

1. Способ изготовления устройства для измерения деформации, отличающийся тем, что он включает в себя следующие стадии: ! а) нанесение на SiC-ю поверхность детали, образованной подложкой (10), покрытой слоем (12) карбида кремния (SiC), нанесенным химическим осаждением из паровой фазы, адгезионного подслоя (20) кремния вакуумным плазменным напылением; ! б) нанесение на упомянутый адгезионный подслой (20) кремния покрытия (30) из оксида алюминия атмосферным термическим напылением; ! в) размещение тензометрического датчика (40) со свободной нитью на упомянутом покрытии (30), причем этот датчик удерживается на его опоре (43), и упомянутая опора имеет отверстия (44); ! г) нанесение второго покрытия (50) из оксида алюминия на упомянутый тензометрический датчик (40) и на упомянутое покрытие (30) атмосферным термическим напылением через упомянутые отверстия (44); ! д) удаление упомянутой опоры (43); и ! е) нанесение третьего покрытия (60) из оксида алюминия атмосферным термическим напылением на упомянутое первое покрытие (30), на упомянутое второе покрытие (50) и на упомянутый тензометрический датчик (40). ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что адгезионный подслой имеет толщину от 50 до 70 мкм. ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что атмосферное термическое напыление выбирают между плазменным напылением и пламенным напылением. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что упомянутую подложку (10) выбирают между композиционным материалом, имеющим матрицу из карбида кремния (SiC), и композиционным материалом, имеющим самозалечивающуюся керамическую матрицу. ! 5. Устройство для измерения деформации детали, образованной подложкой (10), покрытой слоем (12) карбида кремния (SiC),