Нанесение оксида кремния путем химического осаждения из паровой фазы при атмосферном давлении - RU2014117616A

Реферат

1. Способ формирования по меньшей мере одного содержащего оксид кремния слоя на подложке, включающий:(a) нагрев подложки;(b) испарение по меньшей мере одного предшественника, содержащего моноалкилсилан, имеющий алкильную группу с более чем двумя атомами углерода для образования потока испаренного предшественника; и(c) контактирование поверхности нагретой подложки с потоком испаренного предшественника при примерно атмосферном давлении для нанесения по меньшей мере одного слоя, содержащего оксид кремния, на поверхность подложки.2. Способ формирования по меньшей мере одного содержащего оксид кремния слоя на подложке по п. 1, характеризующийся тем, что по меньшей мере один содержащий оксид кремния слой имеет показатель преломления в диапазоне от примерно 1,4 до примерно 2,0.3. Способ формирования по меньшей мере одного содержащего оксид кремния слоя на подложке по п. 1, характеризующийся тем, что по меньшей мере один содержащий оксид кремния слой является практически прозрачным.4. Способ формирования по меньшей мере одного содержащего оксид кремния слоя на подложке по п. 1, характеризующийся тем, что моноалкилсилан выбирают из группы, состоящей из н-бутилсилана, н-гексилсилана, н-окстилсилана и их смесей.5. Способ формирования по меньшей мере одного содержащего оксид кремния слоя на подложке по п. 1, характеризующийся тем,что алкильная группа моноалкилсилана содержит по меньшей мере четыре атома углерода.6. Способ формирования по меньшей мере одного содержащего оксид кремния слоя на подложке по п. 1, характеризующийся тем, что подложку выбирают из группы, состоящей из стекла, фторполимерных смол, сложных полиэфиров, пол