Методы лазерной абляции/лазерного скрайбирования покрытий слоистых структур, полученных путем предварительного и последующего нанесения слоев, и/или связанные способы - RU2020105763A
Код документа: RU2020105763A
Формула
1. Способ изготовления слоистого изделия, включающий:
обеспечение наличия промежуточного изделия, включающего в себя первую и вторую практически параллельные стеклянные подложки, соединенные между собой связующим материалом, причем на первой стеклянной подложке имеется образованное на ней многослойное тонкопленочное покрытие, включающее в себя по меньшей мере один металлсодержащий слой и подверженное коррозии; и
лазерное скрайбирование линии в покрытии путем воздействия на промежуточное изделие источника лазерного излучения при изготовлении слоистого изделия, причем линия создает барьер для переноса электронов между его противоположными сторонами.
2. Способ по п. 1, в котором связующий материал представляет собой ПВБ, стеклянные подложки представляют собой прозрачные стеклянные подложки, а источник лазерного излучения представляет собой источник лазерного излучения с длиной волны 1064 нм.
3. Способ по п. 1, в котором источник лазерного излучения представляет собой источник лазерного излучения с длиной волны 1064 нм.
4. Способ по любому предшествующему пункту, дополнительно включающий осуществление работы источника лазерного излучения на длине волны, на которой как вторая подложка, так и связующий материал являются пропускающими по меньшей мере на 90%.
5. Способ по любому предшествующему пункту, в котором покрытие представляет собой низкоэмиссионное покрытие, включающее в себя слой, содержащий Ag.
6. Способ по п. 5, в котором покрытие включает в себя по меньшей мере один слой, содержащий Ni, Cr и/или Ti, причем упомянутый по меньшей мере один слой, содержащий Ni, Cr и/или Ti, образован на и в физическом контакте со слоем, содержащим Ag.
7. Способ по п. 5, в котором слой, содержащий Ag, находится между в прямом физическом контакте с первым и вторым слоями, содержащими Ni, Cr и/или Ti.
8. Способ по любому из пп. 5, 6, в котором слой, содержащий Ag, образован на и находится в прямом физическом контакте со слоем, содержащим оксид цинка.
9. Способ по любому предшествующему пункту, дополнительно включающий осуществление лазерного скрайбирования для полного растворения покрытия в непосредственной близости от линии.
10. Способ по п. 9, в котором материал из растворяемого покрытия по меньшей мере частично растворяют в связующем материале.
11. Способ по любому предшествующему пункту, в котором покрытие включает в себя нижний диэлектрический слой непосредственно на первой стеклянной подложке, причем способ дополнительно включает:
осуществление лазерного скрайбирования для растворения части покрытия, включая упомянутый по меньшей мере один металлсодержащий слой, но исключая нижний диэлектрический слой.
12. Способ по любому предшествующему пункту, в котором растворяемую часть покрытия по меньшей мере частично растворяют в связующем материале и/или нижнем диэлектрическом слое.
13. Способ по любому предшествующему пункту, дополнительно включающий управление теплом, выделяемым при лазерном скрайбировании, во избежание повреждения поверхности подложки, на которой образовано покрытие, и во избежание нежелательного повреждения связующего материала.
14. Способ по п. 13, дополнительно включающий прерывание лазерного скрайбирования и охлаждение промежуточного изделия и/или обеспечение охлаждения промежуточного изделия во время прерывания для способствования управлению выделяемым теплом.
15. Способ по любому из пп. 13, 14, дополнительно включающий управление рабочим циклом и/или рабочей мощностью источника лазерного излучения для способствования управлению выделяемым теплом.
16. Способ по любому предшествующему пункту, в котором ширина линии составляет по меньшей мере 100-800 мкм.
17. Способ по любому предшествующему пункту, в котором линию формируют по периферии промежуточного изделия, причем барьер определен по периферии промежуточного изделия.
18. Способ по любому предшествующему пункту, в котором лазерное скрайбирование реализуют в связи со множеством перекрывающихся циклов сканирования источника лазерного излучения.
19. Способ по любому предшествующему пункту, в котором лазерное скрайбирование осуществляют с созданием электрического изоляционного барьера менее 10 пико A.
20. Способ по любому предшествующему пункту, в котором при лазерном скрайбировании вторую подложку ориентируют ближе к источнику лазерного излучения, чем первую подложку.
21. Способ изготовления слоистого изделия, включающий:
образование на первой стеклянной подложке многослойного тонкопленочного покрытия, включающего в себя по меньшей мере один металлсодержащий слой и подверженного коррозии;
соединение первой стеклянной подложки со второй стеклянной подложкой с использованием связующего материала таким образом, чтобы покрытие было ориентировано между первой и второй подложками, и таким образом, чтобы первая и вторая подложки были практически параллельны друг другу; и
после соединения лазерное скрайбирование граничной линии по периферии покрытия при изготовлении слоистого изделия, по меньшей мере частично растворяющее покрытие в непосредственной близости от граничной линии и увеличивающее стойкость к электрохимической коррозии покрытия, находящегося внутри по отношению к граничной линии, за счет электрического изолирования покрытия, находящегося внутри по отношению к граничной линии,
при этом с помощью лазерного скрайбирования растворяют по меньшей мере упомянутый по меньшей мере один металлсодержащий слой таким образом, что связанный абляционный материал (a) преобразовывается в непроводящий вид, и/или (b) растворяется и/или диффундирует в первую подложку, связующий материал и/или по меньшей мере один другой слой многослойного тонкопленочного покрытия.
22. Слоистое изделие, содержащее:
первую стеклянную подложку, несущую многослойное тонкопленочное покрытие, включающее в себя по меньшей мере один металлсодержащий слой и подверженное коррозии;
вторую стеклянную подложку, соединенную с первой стеклянной подложкой с использованием связующего материала так, что покрытие ориентировано между первой и второй подложками, и так, что первая и вторая подложки практически параллельны друг другу; и
полученную лазерным скрайбированием границу по периферии покрытия, образованную после соединения между собой первой и второй подложек,
при этом в результате лазерного скрайбирования растворен по меньшей мере упомянутый по меньшей мере один металлсодержащий слой покрытия в непосредственной близости от границы,
при этом растворенный в результате лазерного скрайбирования материал из покрытия (a) введен в первую подложку, связующий материал и/или подстилающий слой покрытия и/или (b) подвергнут абляции и/или испарен с преобразованием в непроводящий вид, и
при этом граница имеет ширину и глубину, достаточные для электрического изолирования области, находящейся внутри по отношению к границе, от области, находящейся снаружи по отношению к границе, до уровня, достаточного для по меньшей мере замедления электрохимической коррозии в области, находящейся внутри по отношению к границе.
23. Изделие по п. 22, в котором:
стеклянные подложки представляют собой прозрачные стеклянные подложки, и связующий материал представляет собой ПВБ, а
покрытие представляет собой низкоэмиссионное покрытие, включающее в себя по меньшей мере один слой, содержащий Ag.
24. Комплект для изготовления слоистого изделия, содержащий:
источник лазерного излучения; и
промежуточное изделие, включающее в себя первую и вторую практически параллельные стеклянные подложки, соединенные между собой связующим материалом, причем на первой стеклянной подложке имеется образованное на ней многослойное тонкопленочное покрытие, включающее в себя по меньшей мере один металлсодержащий слой и подверженное коррозии;
при этом источник лазерного излучения является управляемым для лазерного скрайбирования линии в покрытии путем воздействия на промежуточное изделие источника лазерного излучения при изготовлении слоистого изделия, причем линия создает барьер для переноса электронов между его противоположными сторонами.
25. Комплект по п. 24, в котором источник лазерного излучения является переносным.
26. Способ изготовления слоистого изделия, включающий:
обеспечение наличия промежуточного изделия, включающего в себя первую и вторую практически параллельные стеклянные подложки, соединенные между собой связующим материалом, причем на первой стеклянной подложке имеется образованное на ней многослойное тонкопленочное покрытие, включающее в себя по меньшей мере один металлсодержащий слой; и
подачу энергии в покрытие путем воздействия на промежуточное изделие лазером из источника лазерного излучения, работающего на длине волны, на которой вторая стеклянная подложка и связующий материал являются практическими пропускающими при изготовлении слоистого изделия, причем энергию подают в покрытие и управляют источником лазерного излучения таким образом, чтобы избирательно вынуждать по меньшей мере часть покрытия по желательному рисунку (a) растворяться в первой подложке, связующем материале и/или подстилающем слое покрытия и/или (b) испаряться и преобразовываться в вид, не являющийся проводящим, причем желательный рисунок определяет по меньшей мере первую и вторую области и образуется с шириной и глубиной, достаточными для электрического изолирования первой и второй областей друг от друга, а уровень электрического изолирования является достаточным для по меньшей мере существенного замедления электрохимической коррозии в первой области.
