Прозрачное проводящее покрытие для емкостной сенсорной панели и ей подобных - RU2017135141A
Код документа: RU2017135141A
Формула
1. Емкостный сенсорный экран, содержащий:
подложку;
многослойное прозрачное проводящее покрытие, поддерживаемое этой подложкой,
которое содержит по меньшей мере один проводящий слой, содержащий серебро, расположенный между по меньшей мере первым слоем диэлектрика и вторым слоем диэлектрика,
в котором многослойное прозрачное проводящее покрытие содержит по меньшей мере содержащий серебро проводящий слой, расположенный между по меньшей мере первым слоем диэлектрика и вторым слоем диэлектрика, и структурируется на множество электродов для сенсорной панели;
процессор, который измеряет емкость между электродами для обнаружения положения касания на сенсорной панели,
в котором электроды, сформированные из многослойного прозрачного проводящего покрытия, формируются по существу в общей плоскости, по существу параллельной подложке, и
в котором существует разница не более чем в 2,0% на длине волны 600 нм между (a) процентом видимой отражательной способности со стороны стекла многослойного прозрачного проводящего покрытия на подложке в тех областях, где покрытие присутствует, и (b) процентом видимой отражательной способности подложки по меньшей мере в некоторых областях, где многослойное прозрачное проводящее покрытие отсутствует.
2. Емкостная сенсорная панель по п. 1, в которой подложка является стеклянной подложкой.
3. Емкостная сенсорная панель по п. 1, в которой упомянутая подложка состоит из стеклянной подложки, покрытой антиотражающим (AR) покрытием.
4. Емкостная сенсорная панель по любому из предшествующих пунктов, в которой существует разница не более чем в 1,5% на длине волны 600 нм между (a) процентом видимой отражательной способности со стороны стекла многослойного прозрачного проводящего покрытия на подложке в тех областях, где покрытие присутствует, и (b) процентом видимой отражательной способности подложки по меньшей мере в некоторых областях, где многослойное прозрачное проводящее покрытие отсутствует.
5. Емкостная сенсорная панель по любому из предшествующих пунктов, в которой существует разница не более чем в 1,0% на длине волны 600 нм между (a) процентом видимой отражательной способности со стороны стекла многослойного прозрачного проводящего покрытия на подложке в тех областях, где покрытие присутствует, и (b) процентом видимой отражательной способности подложки по меньшей мере в некоторых областях, где многослойное прозрачное проводящее покрытие отсутствует.
6. Емкостная сенсорная панель по любому из предшествующих пунктов, в которой первый слой диэлектрика содержит оксид титана.
7. Емкостная сенсорная панель по любому из предшествующих пунктов, в которой второй слой диэлектрика содержит оксид олова.
8. Емкостная сенсорная панель по любому из предшествующих пунктов, в которой многослойное прозрачное проводящее покрытие содержит, начиная от подложки:
первый слой диэлектрика, содержащий оксид титана;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид цинка;
содержащий серебро проводящий слой, напрямую контактирующий со слоем диэлектрика, содержащим оксид цинка;
контактный слой, расположенный над и контактирующий с проводящим слоем, содержащим серебро;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид титана;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид олова; и
другой слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния.
9. Емкостная сенсорная панель по любому из пп. 1-7, в которой многослойное прозрачное проводящее покрытие содержит, в порядке удаления от подложки:
слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния;
слой диэлектрика, содержащий оксид кремния;
слой диэлектрика, содержащий оксид титана;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид цинка;
содержащий серебро проводящий слой, напрямую контактирующий со слоем диэлектрика, содержащим оксид цинка;
контактный слой, расположенный над и контактирующий с проводящим слоем, содержащим серебро;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид титана;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид олова; и
другой слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния.
10. Емкостная сенсорная панель по любому из пп. 1-7, в которой многослойное прозрачное проводящее покрытие содержит, в порядке удаления от подложки:
слой диэлектрика, содержащий оксид цинка;
содержащий серебро проводящий слой, напрямую контактирующий со слоем диэлектрика, содержащим оксид цинка;
контактный слой, расположенный над и контактирующий с проводящим слоем, содержащим серебро;
слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния.
11. Емкостная сенсорная панель по п. 10, в которой контактный слой содержит оксид Ni и/или Cr.
12. Емкостная сенсорная панель по п. 8, в которой первый слой диэлектрика, содержащий оксид титана, имеет толщину приблизительно 130-185 ангстрем.
13. Емкостная сенсорная панель по п. 8, в которой первый слой диэлектрика, содержащий оксид титана, имеет толщину приблизительно 150-185 ангстрем.
14. Емкостная сенсорная панель по п. 8, в которой слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния, имеет толщину приблизительно 300-400 ангстрем.
15. Емкостная сенсорная панель по п. 8, в которой слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния, имеет толщину приблизительно 300-320 ангстрем.
16. Емкостная сенсорная панель по любому из предшествующих пунктов, в которой многослойное прозрачное проводящее покрытие имеет поверхностное сопротивление, меньше или равное приблизительно 15 Ом/квадрат.
17. Емкостная сенсорная панель по любому из предшествующих пунктов, в которой многослойное прозрачное проводящее покрытие имеет поверхностное сопротивление, меньше или равное приблизительно 10 Ом/квадрат.
18. Емкостная сенсорная панель по любому из предшествующих пунктов, в которой многослойное прозрачное проводящее покрытие имеет поверхностное сопротивление, меньше или равное приблизительно 5 Ом/квадрат.
19. Узел, содержащий емкостную сенсорную панель по любому из предшествующих пунктов, соединенную с жидкокристаллической панелью, включающей в себя жидкокристаллический слой между по меньшей мере парой подложек, в котором многослойное прозрачное проводящее покрытие предусматривается между упомянутой подложкой, поддерживающей многослойное прозрачное проводящее покрытие, и жидкокристаллической панелью, и в котором многослойное прозрачное проводящее покрытие является смежным с воздушным зазором, который предусматривается между жидкокристаллической панелью и многослойным прозрачным проводящим покрытием.
20. Способ изготовления сенсорной панели, содержащей подложку и сигнальный процессор, содержащий:
осаждение напылением на подложку многослойного содержащего серебро прозрачного проводящего покрытия и структурирование содержащего серебро прозрачного проводящего покрытия для формирования множества проводящих электродов и множества проводящих дорожек,
в котором множество электродов и множество дорожек находятся в плоскости, по существу параллельной подложке, причем каждый из электродов электрически соединен с сигнальным процессором по меньшей мере одной из дорожек, и
в котором существует разница не более чем в 2,0% в диапазоне длин волн 550-600 нм между (a) процентом видимой отражательной способности со стороны стекла и/или со стороны пленки многослойного прозрачного проводящего покрытия на подложке в тех областях, где покрытие присутствует, и (b) процентом видимой отражательной способности подложки по меньшей мере в некоторых областях, где многослойное прозрачное проводящее покрытие отсутствует.
21. Способ по п. 20, в котором подложка является стеклянной подложкой.
22. Способ по п. 20, в котором подложка состоит из стеклянной подложки, покрытой антиотражающим (AR) покрытием.
23. Способ по любому из пп. 20-22, в котором существует разница не более чем в 1,0% в диапазоне длин волн 550-600 нм между (a) процентом видимой отражательной способности со стороны стекла и/или со стороны пленки многослойного прозрачного проводящего покрытия на подложке в тех областях, где покрытие присутствует, и (b) процентом видимой отражательной способности подложки по меньшей мере в некоторых областях, где многослойное прозрачное проводящее покрытие отсутствует.
24. Способ по любому из пп. 20-23, обеспечивающий дисплейную панель, который соединяется с подложкой с воздушным зазором между ними, и в котором многослойное прозрачное проводящее покрытие является смежным с воздушным зазором.
25. Изделие с покрытием, содержащее многослойное покрытие на стеклянной подложке, содержащее в порядке удаления от подложки:
первый слой диэлектрика, содержащий оксид титана, имеющий толщину 150-185 ангстрем;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид цинка;
содержащий серебро проводящий слой, напрямую контактирующий со слоем диэлектрика, содержащим оксид цинка;
контактный слой, расположенный над и контактирующий с проводящим слоем, содержащим серебро;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид титана;
другой слой диэлектрика, содержащий оксид олова; и
другой слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния, имеющий толщину приблизительно 300-400 ангстрем;
в котором существует разница не более чем в 2,0% в диапазоне длин волн 550-600 нм между (a) процентом видимой отражательной способности со стороны стекла и/или со стороны пленки покрытия на стеклянной подложке в той области, где покрытие присутствует на стеклянной подложке, и (b) процентом видимой отражательной способности самой стеклянной подложки без покрытия.
26. Узел, содержащий изделие с покрытием по п. 25, соединенное с дисплейной панелью с воздушным зазором между ними, в котором многослойное прозрачное проводящее покрытие является смежным с воздушным зазором и расположено между подложкой и воздушным зазором.
27. Изделие с покрытием, содержащее многослойное покрытие на стекле, содержащее в порядке удаления от стекла:
(i) антиотражающую (AR) часть, содержащую:
(a) первый слой диэлектрика с высоким показателем преломления;
(b) первый слой диэлектрика с низким показателем преломления;
(c) второй слой диэлектрика с высоким показателем преломления;
(d) второй слой диэлектрика с низким показателем преломления, в котором второй слой диэлектрика с высоким показателем преломления располагается между первым и вторым слоями диэлектрика с низким показателем преломления и контактирует с ними, а первый слой диэлектрика с низким показателем преломления располагается между первым и вторым слоями диэлектрика с высоким показателем преломления и контактирует с ними;
первый и второй слои диэлектрика с высоким показателем преломления имеют показатель преломления (n) по меньшей мере приблизительно 2,15 на длине волны 550 нм; и первый и второй слои диэлектрика с низким показателем преломления имеют показатель преломления (n) не больше чем приблизительно 1,7 на длине волны 550 нм; и
(e) слой диэлектрика, содержащий оксид металла;
(ii) часть, включающую в себя проводящий слой, содержащую:
(a) слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния;
(b) слой диэлектрика, содержащий оксид цинка;
(c) содержащий серебро проводящий слой, напрямую контактирующий со слоем диэлектрика, содержащим оксид цинка;
(d) контактный слой, расположенный над и контактирующий с проводящим слоем, содержащим серебро; и
(e) слой диэлектрика, содержащий нитрид кремния.
28. Изделие с покрытием по п. 27, в котором содержащий оксид металла слой диэлектрика содержит оксид циркония.
29. Изделие с покрытием по п. 27, в котором первый и второй слои диэлектрика с низким показателем преломления содержат оксид кремния.
30. Изделие с покрытием по п. 27, в котором первый и второй слои диэлектрика с высоким показателем преломления содержат оксид титана и/или ниобия.
31. Изделие с покрытием по п. 27, в котором имеется не более чем 2,0% разности в диапазоне длин волн 550-600 нм между (a) процентом видимой отражательной способности со стороны стекла покрытия на стекле в той области, где покрытие присутствует на стекле, и (b) процентом видимой отражательной способности стекла в той области, где только антиотражающая (AR) часть (i), но не часть (ii), присутствует на стекле.
32. Изделие с покрытием по п. 27, в котором имеется не более чем 1,0% разности в диапазоне длин волн 550-600 нм между (a) процентом видимой отражательной способности со стороны стекла покрытия на стекле в той области, где покрытие присутствует на стекле, и (b) процентом видимой отражательной способности стекла в той области, где только антиотражающая (AR) часть (i), но не часть (ii), присутствует на стекле.
33. Узел, содержащий изделие с покрытием по п. 27, соединенное с дисплейной панелью с воздушным зазором между ними, в котором покрытие является смежным с воздушным зазором и расположено между стеклом и воздушным зазором.
