Способ нанесения покрытия методом осаждения при магнетронном распылении в вакууме - RU2006143063A

Реферат

1. Способ нанесения покрытия на подложку в одной зоне устройства для нанесения покрытий методом ОМРВ, в котором зона включает, по меньшей мере, два отсека, содержащий:а. работу в режиме металла первого отсека зоны, включающего первую мишень; иb. работу в переходном режиме или в режиме окисла второго отсека зоны, включающего вторую мишень, при этом величина ΔG материала мишени, работающей в переходном режиме или в режиме окисла, равна или меньше чем 160 ккал/моль O, или разность между ΔG для материала мишени, работающей в переходном режиме или в режиме окисла, и ΔG для материала мишени, работающей в режиме металла, составляет, по меньшей мере, 60 ккал/моль O.2. Способ по п.1, в котором первую мишень выбирают из золота, меди, серебра, титана, циркония, гафния, иттрия и их смесей, и их сплавов.3. Способ по п.2, в котором первая мишень содержит серебро.4. Способ по п.1, в котором вторую мишень выбирают из титана, кремния, олова, цинка, алюминия, кремния и их комбинаций в переходном режиме или режиме окисла.5. Способ по п.4, в котором вторая мишень содержит смесь алюминия и кремния.6. Способ по п.5, в котором вторая мишень содержит 60 мас.% кремния и 40 мас.% алюминия.7. Способ по п.5, в котором вторая мишень содержит 25 мас.% кремния и 75 мас.% алюминия.8. Способ по п.5, в котором вторая мишень содержит 90 мас.% кремния и 10 мас.% алюминия.9. Способ по п.1, в котором работа второго отсека включает подачу в зону химически активного газа, выбранного из кислорода или азота.10. Способ по п.1, дополнительно содержащий работу в режиме металла отсека, содержащего третью мишень, содержащую второй металл, который отличается от первого, причем третья мишень расположена в т�