Защитные слои для оптических покрытий - RU2004126086A

Реферат

1. Способ получения прозрачного изделия, включающий формирование на оптическом покрытии, находящемся на подложке, защитного покрытия, включающего слой, в основном состоящий из углерода; нагревание защитного покрытия в реакционноспособной атмосфере; взаимодействие слоя, состоящего из углерода, с реакционноспособной атмосферой с образованием углеродсодержащего газа; и удаление с оптического покрытия слоя, в основном состоящего из углерода, с получением прозрачного изделия.

2. Способ по п.1, в котором формирование включает газофазное осаждение защитного покрытия.

3. Способ по п.2, в котором газофазное осаждение включает распыление.

4. Способ по п.1, в котором перед нагреванием слой, в основном состоящий из углерода, обладает толщиной, равной от 1 до 10 нм.

5. Способ по п.1, в котором в основном состоящий из углерода слой легирован азотом.

6. Способ по п.1, в котором в основном состоящий из углерода слой состоит из углерода и неизбежных примесей.

7. Способ по п.1, в котором углерод в слое, в основном состоящем из углерода, включает, по меньшей мере, одну форму углерода, выбранную из группы, включающей алмазоподобный углерод и графит.

8. Способ по п.1, в котором реакционноспособной атмосферой является атмосфера, содержащая кислород.

9. Способ по п.8, в котором атмосферой, содержащей кислород, является воздух.

10. Способ по п.1, в котором углеродсодержащий газ включает, по меньшей мере, одно соединение, выбранное из группы, включающей монооксид углерода и диоксид углерода.

11. Способ по п.1, в котором нагревание включает повышение температуры защитного покрытия не менее чем до 400°С.

12. Способ по п.1, в котором нагревание подвергает закалке оптическое покрытие.

13. Способ по п.1, в котором нагревание подвергает закалке подложку.

14. Способ по п.1, в котором подложка включает стекло.

15. Способ по п.14, в котором стекло является прозрачным для видимого света.

16. Способ по п.1, в котором проведение реакции приводит к удалению с оптического покрытия всего слоя, в основном состоящего из углерода.

17. Способ по п.1, в котором количество царапин на оптическом покрытии после удаления составляет не более 110% от количества царапин, имевшихся на оптическом покрытии непосредственно перед формированием.

18. Способ по п.1, в котором оптическое покрытие включает расположенный дальше всего от подложки однородный наружный слой, включающий нитрид кремния.

19. Способ по п.18, в котором защитное покрытие дополнительно включает препятствующий распространению трещин слой, расположенный между слоем, состоящим в основном из углерода, и наружным слоем; и препятствующий распространению трещин слой является однородным слоем, включающим материал, выбранный из группы, включающей Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; оксиды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; нитриды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; и их смеси.

20. Способ по п.19, в котором препятствующий распространению трещин слой включает неизбежные примеси и материал, выбранный из группы, включающей Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; оксиды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; нитриды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; и их смеси.

21. Способ по п.19, в котором препятствующий распространению трещин слой обладает толщиной, равной от 2 до 8 нм.

22. Способ получения прозрачного изделия, включающий предоставление подложки, обладающей оптическим покрытием, включающим расположенный дальше всего от подложки однородный наружный слой; и формирование на наружном слое препятствующего распространению трещин слоя, в котором препятствующий распространению трещин слой является однородным слоем, включающим материал, выбранный из группы, включающей Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; оксиды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; нитриды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; и их смеси.

23. Способ по п.22, в котором наружный слой включает нитрид кремния.

24. Способ по п.22, в котором формирование включает газофазное осаждение препятствующего распространению трещин слоя на наружном слое.

25. Способ по п.22, в котором препятствующий распространению трещин слой включает материал, выбранный из группы, включающей TiO₂, SiO₂, ZnO, SnO₂, In₂O₃, Zro₂, AL₂О₃, Cr₂O₅, Nb₂O₅, МоО₃, HfO₂, Та₂O₅ и WO₃ и их смеси; и формирование включает осаждение на наружном слое барьерного для диффузии слоя металла, субоксида металла или субнитрида металла, включающего, по меньшей мере, один элемент, выбранный из группы, включающей Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; нагревание барьерного для диффузии слоя в атмосфере, содержащей кислород; и введение барьерного для диффузии слоя в реакцию с кислородом с образованием препятствующего распространению трещин слоя.

26. Способ по п.25, в котором барьерный для диффузии слой обладает толщиной, равной от 4 до 6 нм.

27. Способ по п.25, в котором атмосферой, содержащей кислород, является воздух.

28. Способ по п.25, в котором нагревание включает повышение температуры оптического покрытия не менее чем до 400°С.

29. Способ по п.25, в котором нагревание подвергает закалке оптическое покрытие.

30. Способ по п.25, в котором нагревание подвергает закалке подложку.

31. Способ по п.25, дополнительно включающий осаждение слоя, в основном состоящего из углерода, на барьерном для диффузии слое перед нагреванием барьерного для диффузии слоя; и введение барьерного для диффузии слоя в реакцию с кислородом с образованием углеродсодержащего газа.

32. Способ по п.31, в котором углеродсодержащий газ включает, по меньшей мере, одно соединение, выбранное из группы, включающей монооксид углерода и диоксид углерода.

33. Способ по п.22, в котором подложка включает стекло.

34. Способ по п.33, в котором стекло является прозрачным для видимого света.

35. Прозрачное изделие, включающее подложку; оптическое покрытие, включающее один или большее количество находящихся на подложке слоев, в котором один или большее количество слоев включает расположенный дальше всего от подложки однородный наружный слой, включающий нитрид кремния; и защитное покрытие, расположенное на наружном слое, в котором защитное покрытие содержит препятствующий распространению трещин слой, расположенный на наружном слое, и в основном состоящий из углерода слой, расположенный на препятствующем распространению трещин слое; и препятствующий распространению трещин слой является однородным слоем, включающим материал, выбранный из группы, включающей Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; оксиды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; нитриды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; и их смеси.

36. Прозрачное изделие по п.35, в котором в основном состоящий из углерода слой легирован азотом.

37. Прозрачное изделие по п.35, в котором в основном состоящий из углерода слой состоит из углерода и неизбежных примесей.

38. Прозрачное изделие по п.35, в котором углерод в слое, в основном состоящем из углерода, включает, по меньшей мере, одну форму углерода, выбранную из группы, включающей алмазоподобный углерод и графит.

39. Прозрачное изделие, включающее подложку; оптическое покрытие, включающее один или большее количество находящихся на подложке слоев, в котором один или большее количество слоев включает расположенный дальше всего от подложки однородный наружный слой, включающий нитрид кремния; и защитное покрытие, расположенное на наружном слое, в котором защитное покрытие содержит препятствующий распространению трещин слой, расположенный на наружном слое; и препятствующий распространению трещин слой является однородным слоем, включающим материал, выбранный из группы, включающей Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; оксиды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; нитриды Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Та и W; и их смеси.

40. Прозрачное изделие по п.39, в котором оптическое покрытие представляет собой покрытие, подвергнутое закалке.