Диэлектрическое зеркало - RU2672043C2

Чертежи

Описание

[001] Эта заявка является частичным продолжением (CIP) заявки № 13/766025 на патент США, поданной 13 февраля 2013 года, раскрытие которой включено в эту заявку путем ссылки.

[002] Некоторые примеры вариантов осуществления этого изобретения относятся к диэлектрическим зеркалам и/или способам изготовления их. Некоторые примеры вариантов осуществления относятся к диэлектрическим зеркалам, в которых реализуются отражение в видимой области на стороне пленки и/или стороне стекла около 50-90% (более предпочтительно около 60-80% и наиболее предпочтительно около 65-75%) и пропускание в видимой области около 10-50% (более предпочтительно около 10-40%, еще более предпочтительно около 20-40% и наиболее предпочтительно около 25-35%).

УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ И КРАТКОЕ ИЗЛОЖЕНИЕ ПРИМЕРОВ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[003] Зеркала существуют много лет и используются во многих областях применения. Зеркала обычно представляют собой (а) зеркала с передней отражающей поверхностью, в которых покрытие зеркала расположено между наблюдателем и несущей его стеклянной подложкой, или (b) зеркала с задней отражающей поверхностью, в которых несущая стеклянная подложка расположена между наблюдателем и покрытием зеркала. См., например, патенты США №№ 7276289 и 7678459; публикации №№ 2006/0077580, 2007/0178316, 2008/0073203, 2008/0164173, 2010/0229853, 2011/0176112 и 2011/0176236 заявок на патенты США. Полное содержание каждого из этих патентных документов включено в эту заявку путем ссылки.

[004] Для зеркал часто требуется использовать металлический (Al или Ag) отражающий слой. Однако желательно, чтобы зеркала можно было образовывать без необходимости в металлическом отражающем слое из Al или Ag.

[005] Некоторые примеры вариантов осуществления этого изобретения относятся к диэлектрическим зеркалам и способам изготовления их. Более конкретно, некоторые примеры вариантов осуществления относятся к диэлектрическим зеркалам, не имеющим металлического отражающего слоя (например, не имеющим слоя Ag и не имеющим слоя Al), и в которых тем не менее можно реализовать отражательную способность в видимой области на стороне пленки и/или стороне стекла около 50-90% (более предпочтительно около 60-80% и наиболее предпочтительно около 65-75%) и пропускание в видимой области около 10-50% (более предпочтительно около 10-40%, более предпочтительно около 20-40% и наиболее предпочтительно около 25-35%). В некоторых примерах вариантов осуществления может быть предусмотрен слой из NiCr или чего-либо подобного или включающий его, который в некоторых аналогичных случаях может быть слабо или сильно оксидированным. Согласно некоторым примерам вариантов осуществления диэлектрические зеркала могут быть зеркалами с передней или задней отражающей поверхностью, при этом они имеют хорошие характеристики как при отражении на стороне стекла, так и при отражении на стороне пленки. В некоторых примерах вариантов осуществления зеркала могут быть или могут не быть термически обработанными (например, термически закаленными или термически согнутыми). В некоторых аналогичных случаях такие диэлектрические зеркала могут использоваться в потребительских, коммерческих и/или цифровых информационных областях применения, например, в рамках картин, зеркалах ванной комнаты, телевизорах и/или электронных приборах.

[006] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения предложено диэлектрическое зеркало, включающее в себя стеклянную подложку, несущую покрытие, при этом покрытие содержит по ходу от стеклянной подложки: первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана, при этом первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления имеет толщину около 70-140 нм; второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния; при этом второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления имеет толщину около 30-140 нм; третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана; четвертый прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния; пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана; в котором первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана, по меньшей мере на 10 нм толще, чем один или оба из (а) третьего прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия и/или оксид титана, и/или (b) пятого прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия и/или оксид титана; в котором покрытие не содержит никакого металлического отражающего слоя на основе Al или Ag; и при этом диэлектрическое зеркало имеет (i) отражательную способность в видимой области на стороне пленки или отражательную способность в видимой области на стороне стекла около 50-90% и (ii) пропускание в видимой области около 10-40%, и при этом отражательная способность в видимой области на стороне стекла зеркала по меньшей мере на около 30% выше или ниже, чем отражательная способность в видимой области на стороне пленки зеркала. Зеркало может также содержать корректирующий симметрию слой, расположенный между третьим прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления и пятым прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления. Корректирующий симметрию слой может содержать NiCr или что-либо подобное и может быть, по меньшей мере частично, оксидированным. Корректирующий симметрию слой может быть расположен между и контактировать с третьим прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления и четвертым прозрачным диэлектрическим слоем с низким показателем преломления, содержащим оксид кремния, или может быть расположен между и контактировать с пятым прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления и четвертым прозрачным диэлектрическим слоем с низким показателем преломления, содержащим оксид кремния. Для достижения асимметрии отражательных способностей в видимой области на стороне пленки и стороне стекла зеркала стеклянная подложка зеркала может быть подложкой из серого стекла вместо использования корректирующего симметрию слоя.

[007] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения предложено диэлектрическое зеркало, включающее в себя подложку, несущую покрытие, при этом покрытие содержит по ходу от подложки: первый диэлектрический слой, имеющий показатель (n) преломления от около 2,15 до 2,5; второй диэлектрический слой, содержащий оксид кремния; третий диэлектрический слой, имеющий показатель преломления от около 2,15 до 2,5; четвертый диэлектрический слой, содержащий оксид кремния; пятый диэлектрический слой, имеющий показатель преломления от около 2,15 до 2,5; в котором первый диэлектрический слой по меньшей мере на 20 нм тоньше, чем один или оба из третьего диэлектрического слоя и/или пятого диэлектрического слоя; и в котором покрытие не содержит никакого металлического отражающего слоя.

[008] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения предложено диэлектрическое зеркало, включающее в себя стеклянную подложку, несущую покрытие, при этом покрытие содержит по ходу от подложки: первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий слой оксида ниобия, при этом первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления имеет толщину около 70-140 нм; второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния, при этом второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления имеет толщину около 30-140 нм; третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия; четвертый прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния; пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия; в котором первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, по меньшей мере на 10 нм толще, чем один или оба из третьего прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия, и/или пятого прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия; в котором покрытие не содержит никакого металлического отражающего слоя; и при этом диэлектрическое зеркало имеет отражательную способность в видимой области на стороне пленки и/или отражательную способность в видимой области на стороне стекла около 50-90% и пропускание в видимой области около 10-40%.

[009] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения предложено зеркало, включающее в себя подложку (например, стеклянную подложку), несущую покрытие, при этом покрытие содержит по ходу от подложки: первый диэлектрический слой, имеющий толщину около 70-140 нм и показатель (n) преломления от около 2,15 до 2,5; второй диэлектрический слой, содержащий оксид кремния; третий диэлектрический слой, имеющий показатель преломления от около 2,15 до 2,5; четвертый диэлектрический слой, содержащий оксид кремния; пятый диэлектрический слой, имеющий показатель преломления от около 2,15 до 2,5; в котором первый диэлектрический слой по меньшей мере на 10 нм толще, чем один или оба из третьего диэлектрического слоя и/или пятого диэлектрического слоя; в котором покрытие не содержит никакого металлического отражающего слоя; и при этом зеркало имеет отражательную способность в видимой области на стороне пленки и/или отражательную способность в видимой области на стороне стекла около 50-90% и пропускание в видимой области около 20-40%.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ

На чертежах:

[010] фиг. 1 - сечение диэлектрического зеркала согласно примеру варианта осуществления этого изобретения;

[011] фиг. 2 - график полученной моделированием длины волны (нм) в зависимости от пропускания (Ts) в видимой области, отражения (BRs) на стороне пленки, отражения (Ra) на стороне стекла, иллюстрирующий оптические характеристики диэлектрического зеркала согласно примеру варианта осуществления из фиг. 1;

[012] фиг. 3 - график полученного моделированием угла (в градусах) в зависимости от значений а* и b* цвета при отражении на стороне стекла, иллюстрирующий угловое распределение цветов отражения диэлектрического зеркала согласно примеру варианта осуществления из фиг. 1;

[013] фиг. 4 - сечение диэлектрического зеркала согласно примеру варианта осуществления этого изобретения; и

[014] фиг. 5(а) и 5(b) - сечения диэлектрических зеркал согласно примерам вариантов осуществления этого изобретения.

ПОДРОБНОЕ ОПИСАНИЕ ПРИМЕРОВ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ

[015] Теперь обратимся более конкретно к чертежам, на которых одинаковыми позициями обозначены подобные части/материалы на всем протяжении нескольких видов.

[016] На фиг. 1 представлено сечение диэлектрического зеркала 100 согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения. Зеркало включает в себя диэлектрическое покрытие 150, которое находится на стеклянной подложке 1. В примерах вариантов осуществления этого изобретения стеклянная подложка 1 может быть выполнена из известково-натриевого силикатного стекла или стекла любого другого подходящего вида и может быть толщиной около 1-10 мм, более предпочтительно толщиной около 2-6 мм. В ином случае подложка 1 может быть из кварца, кремния или чего-либо подобного. Покрытие 150 зеркала включает в себя прозрачные диэлектрические слои 2, 4 и 6 с высокими показателями преломления из оксида ниобия (например, Nb₂O₅, NbO₂ и/или NbO) или включающие его и прозрачные диэлектрические слои 3 и 5 с низкими показателями преломления из оксида кремния или включающие его (например, SiO₂, который может быть или может не быть легированным алюминием и/или азотом). Согласно некоторым примерам вариантов осуществления один или оба из слоев 3 и/или 5 оксида кремния могут быть легированы другим материалом, таким как алюминий в количестве около 1-8% и/или азот в количестве около 1-10%. Кроме того, в некоторых аналогичных случаях один или несколько из слоев 2, 4 и 6 могут быть легированы другим материалом. В варианте осуществления из фиг. 1 слой 6 является внешним слоем покрытия 150 и может быть подвергаться воздействию воздуха. Каждый из слоев 2-7 считается прозрачным, поскольку каждый из этих слоев сам по себе является по существу прозрачным для видимого света (например, прозрачным по меньшей мере на около 50%, более предпочтительно по меньшей мере на около 60% или прозрачным на 70% для видимого света).

[017] Прозрачные диэлектрические слои 2, 4 и 6 с высокими показателями преломления из оксида ниобия или включающие его могут иметь показатель (n) преломления от около 2,15 до 2,5, более предпочтительно от около 2,2 до 2,4 и наиболее предпочтительно от около 2,25 до 2,35 (при 550 нм). Согласно некоторым альтернативным вариантам осуществления в одном или нескольких слоях 2, 4 и/или 6 с высокими показателями преломления оксид ниобия может быть заменен оксидом титана (например, TiO₂), оксидом циркония, оксидом гафния (например, HfO₂), оксидом церия (например, CeO₂), сульфидом цинка или оксидом висмута (например, Bi₂O₃). Таким образом, в одном таком примере слой 6 может быть из оксида титана или включать его, тогда как слои 2 и 4 могут быть из оксида ниобия или включать его, а слои 3 и 5 из оксида кремния или включать его. Прозрачные диэлектрические слои 3 и 5 с низкими показателями преломления из оксида кремния или включающие его могут иметь показатель (n) преломления от около 1,4 до 1,7, более предпочтительно от около 1,4 до 1,6 и наиболее предпочтительно от около 1,45 до 1,55 (все показатели n преломления в этой заявке измеряются при 550 нм).

[018] Согласно примерам вариантов осуществления этого изобретения прозрачные диэлектрические слои 2-6 предпочтительно осаждать распылением. Например, прозрачные диэлектрические слои 2, 4 и 6 из оксида ниобия или включающие его могут быть осаждены распылением с помощью по меньшей мере одной распыляемой мишени из Nb или включающей его, путем распыления в атмосфере, включающей смесь аргона и реактивного газообразного кислорода. И например, прозрачные диэлектрические слои 3 и 5 из оксида кремния или включающие его могут быть осаждены распылением с помощью по меньшей мере одной распыляемой мишени из Si или SiAl или включающее его, путем распыления в атмосфере, включающей смесь аргона и реактивного газообразного кислорода. Могут использоваться распыляемые мишени с вращающимися цилиндрическими катодами магнетронов или мишени других видов. При выполнении операций распыления достаточно большое количество реактивного газообразного кислорода может быть использовано для достижения значений показателей преломления, рассмотренных в этой заявке. В ином случае керамические мишени можно использовать для осаждения распылением одного или нескольких из этих слоев. Хотя слои 2-6 предпочтительно осаждать распылением, в альтернативных вариантах осуществления этого изобретения их можно осаждать другими способами. Хотя в варианте осуществления из фиг. 1 покрытие 150 зеркала состоит из пяти слоев, в альтернативных вариантах осуществления можно создавать дополнительные слои.

[019] В варианте осуществления из фиг. 1 и в других примерах вариантов осуществления диэлектрическое зеркало 100 не содержит металлического отражающего слоя (например, нет слоя Ag и нет слоя Al), но тем не менее может быть получено отражение в видимой области на стороне пленки и/или стороне стекла около 50-90% (более предпочтительно около 60-80% и наиболее предпочтительно около 65-75%) и пропускание в видимой области около 10-50% (более предпочтительно около 10-40%, еще более предпочтительно около 20-40% и наиболее предпочтительно около 25-35%). Несмотря на отсутствие металлических отражающих слоев высокие значения отражательной способности достигаются за счет больших разностей показателей преломления между соседними слоями в покрытии 150 в сочетании со значениями толщины слоев, рассмотренными в этой заявке. В некоторых примерах вариантов осуществления отражательная способность на стороне стекла (отражательная способность, измеряемая на стороне стекла 1 зеркала) и отражательная способность на стороне пленки (отражательная способность, измеряемая на стороне пленки 150 зеркала) могут быть по существу симметричными (например, отражательная способность на стороне стекла и отражательная способность на стороне пленки зеркала могут отличаться не больше чем на около 10%). Кроме того, значения показателей преломления и толщины в этой заявке могут быть подогнаны, чтобы значения цвета при пропускании и отражении (например, значения а* и b* цвета) были по существу нейтральными. Согласно некоторым примерам вариантов осуществления диэлектрические зеркала 100 могут быть зеркалами с передними или задними отражающими поверхностями. Диэлектрическое зеркало 100 может использоваться, например, в качестве расщепителя пучка. Согласно некоторым примерам вариантов осуществления зеркала 100 могут быть или могут не быть подвергнутыми термической обработке (например, термически закаленными и/или термически согнутыми). Согласно некоторым аналогичным случаям такие диэлектрические зеркала 100 могут использоваться в потребительских, коммерческих и/или цифровых информационных областях применения, например, в рамках картин, зеркалах ванной комнаты, телевизорах и/или электронных приборов. Эти зеркала могут использоваться для электронных зеркал или скрытых телевизоров, в потребительских, защитных, коммерческих и/или цифровых информационных областях применения. При некоторых электронных применениях, когда дисплей включен, экранное изображение можно видеть через стекло 1, а когда дисплей выключен, зеркало 100 имеет вид зеркала, обладающего заданными значениями отражательной способности и пропускания в видимой области зеркала, рассмотренными в этой заявке.

[020] На фиг. 4 представлено сечение диэлектрического зеркала согласно другому примеру варианта осуществления этого изобретения. Вариант осуществления из фиг. 4 является таким же, как вариант осуществления из фиг.1, за исключением того, что прозрачный диэлектрический барьерный слой 7 образован между стеклянной подложкой 1 и слоем 2 с высоким показателем преломления. Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения барьерный слой 7 выполнен из нитрида кремния (например, Si₃N₄) или включает его. В некоторых примерах вариантов осуществления барьерный слой 7 на основе нитрида кремния может быть легирован другим материалом, таким как алюминий в количестве около 1-8% и/или кислород в количестве 1-10%. Вариант осуществления из фиг. 4 является вариантом осуществления, особенно полезным для термической обработки (например, термической закалки), поскольку барьерный слой 7 способствует предотвращению или снижению миграции элементов (например, Na) из стеклянной подложки в покрытие во время высокотемпературной термической обработки. Такая термическая обработка (например, термическая закалка) может включать в себя, например, нагревание покрытого изделия в печи или в чем либо подобном при температуре (температурах) по меньшей мере около 580°С, более предпочтительно по меньшей мере около 600°С. Согласно примерам вариантов осуществления этого изобретения вариант осуществления зеркала из фиг. 4 может быть или может не быть подвергнут термической обработке (например, термической закалке).

[021] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения прозрачный диэлектрический слой 2 из оксида ниобия или включающий его может быть толщиной около 70-140 нм, более предпочтительно толщиной около 80-130 нм, еще более предпочтительно толщиной около 90-120 нм, при этом примерная толщина составляет около 105 нм. Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения прозрачный диэлектрический слой 4 из оксида ниобия или включающий его может быть толщиной около 20-90 нм, более предпочтительно толщиной около 30-80 нм, еще более предпочтительно толщиной около 40-65 нм, при этом примерная толщина составляет около 52 нм. Аналогично этому, согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения прозрачный диэлектрический слой 6 из оксида ниобия или включающий его может быть толщиной около 20-90 нм, более предпочтительно толщиной около 30-80 нм, еще более предпочтительно толщиной около 40-70 нм, при этом примерная толщина составляет около 54 нм. Для реализации заданных в этой заявке значений отражательной способности и пропускания предпочтительно, чтобы слой 2 на основе оксида ниобия был значительно толще, чем каждый из слоев 4 и 6 на основе оксида ниобия. Например, в некоторых примерах вариантов осуществления слой 2 на основе оксида ниобия по меньшей мере на около 10 нм толще (более предпочтительно по меньшей мере на около 25 нм толще и наиболее предпочтительно по меньшей мере на около 40 нм толще), чем один или оба слоя 4 и/или 6 на основе оксида ниобия.

[022] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения прозрачный диэлектрической слой 3 из оксида кремния или включающий его может быть толщиной около 30-140 нм, более предпочтительно толщиной около 40-120 нм, еще более предпочтительно толщиной около 60-120 нм, еще более предпочтительно толщиной около 75-100 нм, при этом примерная толщина составляет около 88 нм. Аналогично этому, согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения прозрачный диэлектрический слой 5 из оксида кремния или включающий его может быть толщиной около 30-140 нм, более предпочтительно толщиной около 40-120 нм, еще более предпочтительно толщиной около 60-120 нм, еще более предпочтительно толщиной около 75-100 нм, при этом примерная толщина составляет около 88 нм. Таким образом, согласно некоторым примерам вариантов осуществления слои 3 и 5 на основе оксида кремния могут быть по существу одинаковой толщины (то есть, согласно некоторым примерам вариантов осуществления толщина слоев 3 и 5 на основе оксида кремния отличается не больше чем на около 20 нм, более предпочтительно не больше чем на около 10 нм). А в некоторых примерах вариантов осуществления один из слоев 3 и/или 5 на основе оксида кремния или оба по меньшей мере на около 10 нм (более предпочтительно по меньшей мере на около 15 нм) тоньше, чем слой 2 на основе оксида ниобия, и по меньшей мере на около 10 нм (более предпочтительно по меньшей мере на около 20 нм) толще, чем слои 4 и/или 6 на основе оксида ниобия.

[023] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления прозрачный диэлектрический барьерный слой 7 (который также может быть осажден распылением) может быть толщиной около 5-150 нм, более предпочтительно толщиной около 10-40 нм, еще более предпочтительно толщиной около 10-30 нм, при этом примерная толщина составляет около 20 нм. В некоторых примерах вариантов осуществления барьерный слой 7 может иметь показатель преломления от около 1,95 до 2,10, более предпочтительно от около 2,0 до 2,05.

ПРИМЕР 1

[024] Образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 2 оксида ниобия: толщина 105 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 88 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 53 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 88 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 53 нм.

[025] Оптические свойства зеркала из этого примера показаны на фиг. 2 и 3. Использовалась прозрачная стеклянная подложка. На фиг. 2 представлен график полученной моделированием длины волны (нм) в зависимости от пропускания (Ts) в видимой области, отражения (BRs) на стороне пленки, отражения (Ra) на стороне стекла, иллюстрирующий оптические характеристики этого образца диэлектрического зеркала; и на фиг. 3 представлен график полученного моделированием угла (в градусах) в зависимости от значений а* и b* цвета при отражении на стороне стекла, иллюстрирующий угловое распределение цветов отражения этого образца диэлектрического зеркала. Измерялись следующие оптические значения в видимой области (L*, значения (TY или TaY) пропускания в видимой области, значения отражательной способности в видимой области (RfY или BRa на стороне пленки, RgY или Ra на стороне стекла) и значения а* и b* цвета при пропускании/отражении в видимой области):

[026] Таким образом, из приведенной выше таблицы 1 можно видеть, что диэлектрическое зеркало имело пропускание 30% в видимой области, отражательную способность 70% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 68% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°. И на фиг. 3 можно видеть, что угловое распределение показанных значений а* и b* цвета при отражении не сильно флуктуирует при углах около 0-30°.

[027] Преимущество зеркала заключается в том, что пропускание ультрафиолетового света (УС) при 385 нм составляет по меньшей мере около 70%, более предпочтительно по меньшей мере около 75% и наиболее предпочтительно по меньшей мере около 80% или 85%, что показано на фиг. 2 (обратите внимание на кривую Ts на фиг. 2 при 385 нм), хотя пропускание в видимой области составляет меньше чем около 40%, более предпочтительно меньше чем около 35%, что также показано на фиг. 2. Это высокое пропускание ультрафиолетового света, связанное с низким пропусканием в видимой области и высокими значениями отражательной способности, делают зеркало особенно подходящим для некоторых применений, при которых сильное ультрафиолетовое излучение является желательным.

ПРИМЕР 2

[028] Другой образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером этого из изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 2 оксида ниобия: толщина 108 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 88 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 55 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 90 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 53 нм.

[029] Оптические свойства зеркала из этого примера 2 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета:

[030] Таким образом, из приведенной выше таблицы 2 можно видеть, что диэлектрическое зеркало из этого примера имело пропускание 29% в видимой области, отражательную способность 70% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 71% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°.

ПРИМЕР 3

[031] Еще один образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 7 нитрида кремния: толщина 20 нм;

слой 2 оксида ниобия: толщина 98 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 88 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 55 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 90 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 53 нм.

[032] Оптические свойства зеркала из этого примера 3 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета:

[033] Таким образом, из приведенной выше таблицы 3 можно видеть, что диэлектрическое зеркало из этого примера (см., например, фиг. 4) имело пропускание 29% в видимой области, отражательную способность 69% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 71% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°.

ПРИМЕР 4

[034] Еще один образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 2 оксида ниобия: толщина 124 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 45 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 72 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 68 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 71 нм.

[035] Оптические свойства зеркала из этого примера 4 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета:

[036] Таким образом, из приведенной выше таблицы 4 можно видеть, что диэлектрическое зеркало из этого примера имело пропускание 39% в видимой области, отражательную способность 58% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 60% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело по существу нейтральные (от -3,0 до +3,0) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°.

ПРИМЕР 5

[037] Еще один образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 7 нитрида кремния: толщина 21,4 нм;

слой 2 оксида ниобия: толщина 106,6 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 43,3 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 59,4 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 80,1 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 67,3 нм.

[038] Оптические свойства зеркала из этого примера 5 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета:

[039] Таким образом, из приведенной выше таблицы 5 видно, что диэлектрическое зеркало из этого примера имело пропускание 39% в видимой области, отражательную способность 58% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 60% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°.

ПРИМЕР 6

[040] Еще один образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 2 оксида ниобия: толщина 19,5 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 27 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 59,1 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 91,8 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 57,6 нм.

[041] Оптические свойства зеркала из этого примера 6 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета:

[042] Таким образом, из приведенной выше таблицы 6 видно, что диэлектрическое зеркало из этого примера имело пропускание 48% в видимой области, отражательную способность 50% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 51% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°.

ПРИМЕР 7

[043] Еще один образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 7 нитрида кремния: толщина 20 нм;

слой 2 оксида ниобия: толщина 8,4 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 20 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 55,6 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 89,4 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 56,3 нм.

[044] Оптические свойства зеркала из этого примера 7 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета:

[045] Таким образом, из приведенной выше таблицы 7 видно, что диэлектрическое зеркало из этого примера имело пропускание 48% в видимой области, отражательную способность 50% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 51% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°.

ПРИМЕР 8

[046] Еще один образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 2 оксида ниобия: толщина 9 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 20 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 85 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 103 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 30 нм.

[047] Оптические свойства зеркала из этого примера 8 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета:

[048] Таким образом, из приведенной выше таблицы 8 видно, что диэлектрическое зеркало из этого примера имело пропускание 58% в видимой области, отражательную способность 40% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 41% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°.

ПРИМЕР 9

[049] Еще один образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 7 нитрида кремния: 20 нм;

слой 2 оксида ниобия: толщина 8,4 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 28,8 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 60,3 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 49 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 80,1 нм.

[050] Оптические свойства зеркала из этого примера 9 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета:

[051] Таким образом, из приведенной выше таблицы 9 видно, что диэлектрическое зеркало из этого примера имело пропускание 59% в видимой области, отражательную способность 38% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 40% в видимой области на стороне пленки (отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки была по существу одинаковой). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°.

[052] В примерах 1-9 согласно этому изобретению, приведенных выше, использовались прозрачные стеклянные подложки 1 и это приводило к получению зеркал, в каждом случае имевших отражательную способность в видимой области на стороне стекла, которая была по существу такой же, как отражательная способность в видимой области на стороне пленки. Однако в альтернативных вариантах осуществления этого изобретения симметричные отражательные способности в видимой области на стороне стекла и пленки не всегда желательны. В некоторых случаях может быть желательно иметь для зеркала асимметричные отражательные способности в видимой области на стороне стекла и стороне пленки. Несколько подходов к этому предложено в примерах вариантов осуществления этого изобретения. Первый подход (например, см. пример 10 ниже) заключается в использовании подложки 1 из серого стекла вместо подложки из прозрачного стекла в любом из вариантов осуществления из фиг. 1-4, и при этом было обнаружено, что это приводит к получению асимметричных отражательных способностей в видимой области на стороне стекла в сопоставлении со стороной пленки. Второй подход заключается в образовании корректирующего симметрию слоя (например, из NiCr, NiCrO_x или чего-либо подобного или включающего указанные) в многоуровневой структуре на месте, предназначенном для коррекции симметрии отражательных способностей в видимой области на стороне стекла и стороне пленки. При обоих подходах можно получать зеркала с отражательной способностью в видимой области на стороне стекла, которая отличается по меньшей мере на около 30% от отражательной способности в видимой области на стороне пленки зеркала, более предпочтительно, чтобы она отличалась по меньшей мере на около 40%. Пример 10 является примером первого подхода, в котором параметры стеклянной подложки корректировались для получения асимметрии.

ПРИМЕР 10

[053] Еще один образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

подложка 1 из серого стекла;

слой 2 оксида ниобия: толщина 105 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 110 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 40 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 110 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 45 нм.

[054] Оптические свойства зеркала из этого примера 10 были следующими, относящимися к пропусканию (Ts или TY) в видимой области, отражательной способности в видимой области (отражательной способности в видимой области, RfY на стороне пленки и RgY на стороне стекла) и значениям a*, b* цвета при угле обзора 0°:

[055] Таким образом, из приведенной выше таблицы 10 видно, что диэлектрическое зеркало из этого примера имело пропускание 14% в видимой области, отражательную способность 69% в видимой области на стороне стекла и отражательную способность 18% в видимой области на стороне пленки (отражательные способности в видимой области на стороне стекла и стороне пленки были несимметричными и по существу различными). Кроме того, можно видеть, что зеркало имело нейтральные (от -2 до +2) значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и стороне пленки. Они были измерены в соответствии с характеристиками источника С света, 2°. Как ни странно, подложка из серого стекла из примера 10 обеспечивает асимметричные значения отражательной способности в видимой области и может быть предпочтительной в некоторых случаях. Таким образом, согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения отражательная способность в видимой области зеркала на стороне стекла отличается по меньшей мере на около 30% от отражательной способности в видимой области на стороне пленки, более предпочтительно, чтобы она отличалась по меньшей мере на около 40%.

[056] Примеры 11 и 12 являются примерами второго подхода, при котором корректирующий симметрию слой (например, из NiCr, NiCrO_x или чего-либо подобного или включающий в себя указанные) образован в многоуровневой структуре зеркала на месте, предназначенном для коррекции симметрии отражательных способностей в видимой области на стороне стекла и стороне пленки, и побуждает их быть асимметричными. Зеркало из примера 11 показано на фиг. 5(а) и зеркало из примера 12 в общих чертах показано на фиг. 5(b). Варианты осуществления из фиг. 5(а) и 5(b) являются такими же, как варианты осуществления из фиг. 1-4, рассмотренные выше, за исключением того, что дополнительный корректирующий симметрию слой 8 образован в многоуровневой структуре. Конечно, при желании инклюзивный слой 7 нитрида кремния можно также в некоторых случаях образовывать в вариантах осуществления из фиг. 5(a)-(b).

ПРИМЕР 11

[057] Образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 2 оксида ниобия: толщина 130 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 41 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 67 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 93 нм;

корректирующий симметрию NiCr-слой 8: толщина 20 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 35,5 нм.

ПРИМЕР 12

[058] Образец диэлектрического зеркала 100, которое является примером из этого изобретения, был изготовлен в соответствии с нижеследующим:

прозрачная стеклянная подложка 1;

слой 2 оксида ниобия: толщина 102 нм;

слой 3 оксида кремния: толщина 95 нм;

слой 4 оксида ниобия: толщина 52 нм;

корректирующий симметрию NiCr-слой 8: толщина 10 нм;

слой 5 оксида кремния: толщина 49 нм;

слой 6 оксида ниобия: толщина 65 нм.

[059] Образование инклюзивного корректирующего симметрию NiCr-слоя 8 приводит к асимметричным отражательным способностям в видимой области на стороне стекла и стороне пленки, подобным показанным выше в примере 10. Однако было обнаружено, что изменение местоположения корректирующего симметрию NiCr-слоя 8 (который может быть слабо или сильно оксидированным) от показанного на фиг. 5(а) до показанного на фиг. 5(b) инвертирует асимметрию. Иначе говоря, высокую отражательную способность в видимой области на стороне стекла и низкую отражательную способность в видимой области на стороне пленки можно получать при использовании одного из местоположений слоя 8, тогда как низкую отражательную способность в видимой области на стороне стекла и высокую отражательную способность в видимой области на стороне пленки можно получать при использовании другого местоположения слоя 8. В обоих примерах 11-12 зеркало имело пропускание в видимой области около 18-20%. Однако в одном из двух примеров отражательная способность в видимой области на стороне стекла была 66% и отражательная способность в видимой области на стороне пленки была 10%, тогда в другом из двух примеров отражательная способность в видимой области на стороне стекла была 30% и отражательная способность в видимой области на стороне пленки была 73%. Поэтому должно быть понятно, что слой 8 на основе NiCr не является слоем, который создает отражения (вместо этого слой 8 на основе NiCr уменьшает отражение от одной из сторон в зависимости от того, где он расположен), но он делает отражение в видимой области асимметричным между стороной стекла и стороной пленки, что может быть желательно в некоторых случаях. Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения корректирующий симметрию слой 8 (например, из NiCr или включающий его, и при этом он может быть или может не быть оксидированным) имеет толщину от около 3 до 50 нм, более предпочтительно толщину около 5-45 нм, еще более предпочтительно толщину от около 5 до 30 нм и наиболее предпочтительно толщину от около 10 до 20 нм.

[060] Следует отметить, что оптические характеристики, такие как пропускание в видимой области, значения а* и b*, отражательная способность в видимой области на стороне стекла и отражательная способность в видимой области на стороне пленки, измеряются в этой заявке без учета любых используемых по выбору красочных слоев или физических подслоев, которые могут быть применены или размещены в зеркале.

[061] Хотя можно сказать, что слой, система слоев, покрытие или что-либо подобное находится на подложке, слое, системе слоев, покрытии или чем-либо подобном или является несомым ими, другой слой или слои могут быть расположены между ними. Поэтому, например, покрытия или слои, описанные выше, могут считаться находящимися на подложке и/или других покрытиях или слоях или несомыми ими, даже если другой слой или слои расположены между ними.

[062] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения предложено диэлектрическое зеркало, включающее в себя стеклянную подложку 1, несущую покрытие, при этом покрытие содержит по ходу от стеклянной подложки: первый прозрачный диэлектрический слой 2 с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана, при этом первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления имеет толщину около 70-140 нм; второй прозрачный диэлектрический слой 3 с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния, при этом второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления имеет толщину около 30-140 нм; третий прозрачный диэлектрический слой 4 с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана; четвертый прозрачный диэлектрический слой 5 с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния; пятый прозрачный диэлектрический слой 6 с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана; в котором первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана, по меньшей мере на 10 нм толще, чем один или оба из (а) третьего прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия и/или оксид титана, и/или (b) пятого прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия и/или оксид титана; в котором покрытие не содержит никакого металлического отражающего слоя на основе Al или Ag; и при этом диэлектрическое зеркало имеет (i) отражательную способность в видимой области на стороне пленки или отражательную способность в видимой области на стороне стекла около 50-90% и (ii) пропускание в видимой области около 10-40%, и при этом отражательная способность в видимой области на стороне стекла зеркала по меньшей мере на около 30% выше или по меньшей мере на около 30% ниже, чем отражательная способность в видимой области на стороне пленки зеркала.

[063] В зеркале по непосредственно предшествующему абзацу первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксида титана, по меньшей мере на 10 нм толще, чем оба третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления и пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления.

[064] В зеркале по любому из предшествующих двух абзацев первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана, может быть по меньшей мере на 25 нм толще, чем один или оба из третьего прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления и/или пятого прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломлением.

[065] В зеркале по любому из предшествующих трех абзацев первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и/или оксид титана, может быть по меньшей мере на 25 нм толще, чем оба третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления и пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления.

[066] Зеркало по любому из предшествующих четырех абзацев может также содержать корректирующий симметрию слой 8, расположенный между третьим прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления и пятым прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления. Корректирующий симметрию слой может содержать NiCr или что-либо подобное и может быть, по меньше мере частично, оксидированным. Корректирующий симметрию слой 8 может быть расположен между и контактировать с третьим прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления и четвертым прозрачным диэлектрическим слоем с низким показателем преломления, содержащим оксид кремния, или может быть расположен между и контактировать с пятым прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления и четвертым прозрачным диэлектрическим слоем с низким показателем преломления, содержащим оксид кремния. В ином случае, стеклянная подложка зеркала по любому из предшествующих четырех абзацев может быть подложкой из серого стекла.

[067] В зеркале по любому из предшествующих пяти абзацев первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления может содержать оксид ниобия или состоять по существу из него.

[068] В зеркале по любому из предшествующих шести абзацев третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления может содержать оксид ниобия или состоять по существу из него.

[069] В зеркале по любому из предшествующих семи абзацев пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления может содержать оксид ниобия или состоять по существу из него.

[070] В зеркале по любому из предшествующих восьми абзацев третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления может быть толщиной около 30-80 нм.

[071] В зеркале по любому из предшествующих девяти абзацев четвертый прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния, может быть толщиной около 40-120 нм.

[072] В зеркале по любому из предшествующих десяти абзацев пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления может быть толщиной около 30-80 нм.

[073] В зеркале по любому из предшествующих одиннадцати абзацев первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления может непосредственно контактировать со стеклянной подложкой или, в ином случае, слой 7, содержащий нитрид кремния, может быть расположен между и контактировать со стеклянной подложкой 1 и первым прозрачным диэлектрическим слоем 2 с высоким показателем преломления.

[074] В зеркале по любому из предшествующих двенадцати абзацев второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния, может быть расположен между и непосредственно контактировать с первым и третьим прозрачными диэлектрическими слоями с высокими показателями преломления.

[075] В зеркале по любому из предшествующих тринадцати абзацев все слои могут быть осажденными распылением слоями.

[076] В зеркале по любому из предшествующих четырнадцати абзацев каждый из второго и четвертого прозрачных диэлектрических слоев с низкими показателями преломления, содержащих оксид кремния, может быть легирован алюминием.

[077] В зеркале по любому из предшествующих пятнадцати абзацев каждый из первого, третьего и пятого прозрачных диэлектрических слоев с высокими показателями преломления может иметь показатель преломления от около 2,15 до 2,5.

[078] В зеркале по любому из предшествующих шестнадцати абзацев каждый из второго и четвертого прозрачных диэлектрических слоев с низкими показателями преломления, содержащих оксид кремния, может иметь показатель преломления от около 1,4 до 1,7.

[079] В зеркале по любому из предшествующих семнадцати абзацев каждый из второго и четвертого прозрачных диэлектрических слоев с низкими показателями преломления, содержащих оксид кремния, может быть (i) тоньше, чем первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, и (ii) толще, чем по меньшей мере один из третьего и пятого прозрачных диэлектрических слоев с высокими показателями преломления.

[080] Зеркало по любому из предшествующих восемнадцати абзацев может быть термически закаленным зеркалом.

[081] Зеркало по любому из предшествующих девятнадцати абзацев может иметь нейтральные значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла, при этом каждое из значений а* и b* цвета при отражении на стороне стекла составляет от около -2 до +2.

[082] Зеркало по любому из предшествующих двадцати абзацев может иметь нейтральные значения а* и b* цвета при отражении на стороне пленки, при этом каждое из значений а* и b* цвета при отражении на стороне пленки составляет от около -2 до +2.

[083] Согласно некоторым примерам вариантов осуществления этого изобретения предложено диэлектрическое зеркало, включающее в себя подложку, несущую покрытие, при этом покрытие содержит по ходу от подложки: первый диэлектрический слой 2, имеющий показатель (n) преломления от около 2,15 до 2,5; второй диэлектрический слой 3, содержащий оксид кремния; третий диэлектрический слой 4, имеющий показатель преломления от около 2,15 до 2,5; четвертый диэлектрический слой 5, содержащий оксид кремния; пятый диэлектрический слой 6, имеющий показатель преломления от около 2,15 до 2,5; в котором первый диэлектрический слой по меньшей мере на 20 нм тоньше, чем один или оба из третьего диэлектрического слоя и/или пятого диэлектрического слоя; и в котором покрытие не содержит никакого металлического отражающего слоя.

[084] Зеркало по непосредственно предшествующему абзацу может иметь отражательную способность в видимой области на стороне пленки и/или отражательную способность в видимой области на стороне стекла около 40-90% и пропускание в видимой области около 20-60%.

[085] В зеркале по любому из предшествующих двух абзацев по меньшей мере один из первого, третьего и пятого диэлектрических слоев может содержать оксид ниобия.

[086] В зеркале по любому из предшествующих трех абзацев по меньшей мере один из первого, третьего и пятого диэлектрических слоев может содержать оксид титана.

[087] В зеркале по любому из предшествующих четырех абзацев первый диэлектрический слой может быть по меньшей мере на 20 нм тоньше, чем оба из третьего и пятого диэлектрических слоев.

[088] В зеркале по любому из предшествующих пяти абзацев второй диэлектрический слой, содержащий оксид кремния, может быть (i) толще, чем первый диэлектрический слой, и/или тоньше, чем каждый из третьего и пятого диэлектрических слоев.

[089] В зеркале по любому из предшествующих шести абзацев отражательная способность в видимой области на стороне стекла и стороне пленки зеркала может быть по существу одинаковой.

[090] Зеркало по любому из предшествующих семи абзацев может иметь нейтральные значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и/или стороне пленки, при этом каждое из значений а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и/или стороне пленки составляет от около -2 до +2.

[091] Зеркало по любому из предшествующих восьми абзацев может также содержать слой, содержащий нитрид кремния, расположенный между подложкой и первым диэлектрическим слоем.

[092] В зеркале по любому из предшествующих девяти абзацев первый диэлектрический слой может быть по меньшей мере на 40 нм тоньше, чем оба третий диэлектрический слой и пятый диэлектрический слой.

[093] Согласно примерам вариантов осуществления этого изобретения предложено диэлектрическое зеркало, включающее в себя стеклянную подложку, несущую покрытие, при этом покрытие содержит по ходу от стеклянной подложки: первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, при этом первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления имеет толщину около 70-140 нм; второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния, при этом второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления имеет толщину около 30-140 нм; третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия; четвертый прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния; пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия; в котором первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, по меньшей мере на 10 нм толще, чем один или оба из третьего прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия, и/или пятого прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия; в котором покрытие не содержит никакого металлического отражающего слоя; и при этом диэлектрическое зеркало имеет отражательную способность в видимой области на стороне пленки и/или отражательную способность в видимой области на стороне стекла около 50-90% и пропускание в видимой области около 10-40%.

[094] В зеркале по непосредственно предшествующему абзацу первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, может быть по меньшей мере на 10 нм толще, чем оба третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий слой оксида ниобия.

[095] В зеркале по любому из предшествующих двух абзацев первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, может быть по меньшей мере на 25 нм толще, чем один или оба из третьего прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия, и/или пятого прозрачного диэлектрического слоя с высоким показателем преломления, содержащего оксид ниобия.

[096] В зеркале по любому из предшествующих трех абзацев первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, может быть по меньшей мере на 25 нм толще, чем оба третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия и пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия.

[097] В зеркале по любому из предшествующих четырех абзацев один, два или все три из первого, третьего и пятого слоев могут состоять по существу из оксида ниобия.

[098] Диэлектрическое зеркало по любому из предшествующих пяти абзацев может иметь отражательную способность в видимой области на стороне пленки около 60-80% и отражательную способность в видимой области на стороне стекла около 60-80%.

[099] Диэлектрическое зеркало по любому из предшествующих шести абзацев может иметь пропускание в видимой области около 25-35%.

[100] В зеркале по любому из предшествующих семи абзацев третий прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, может быть толщиной около 30-80 нм.

[101] В зеркале по любому из предшествующих восьми абзацев четвертый прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния, может быть толщиной около 40-120 нм.

[102] В зеркале по любому из предшествующих девяти абзацев пятый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, может быть толщиной около 30-80 нм.

[103] В зеркале по любому из предшествующих десяти абзацев покрытие может состоять по существу из первого, второго, третьего, четвертого и пятого слоев.

[104] В зеркале по любому из предшествующих одиннадцати абзацев первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, может непосредственно контактировать со стеклянной подложкой.

[105] В зеркале по любому из предшествующих двенадцати абзацев второй прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния, может быть расположен между и непосредственно контактировать с первым прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления, содержащим оксид ниобия, и третьим прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления, содержащим оксид ниобия.

[106] В зеркале по любому из предшествующих тринадцати абзацев четвертый прозрачный диэлектрический слой с низким показателем преломления, содержащий оксид кремния, может быть расположен между и непосредственно контактировать с третьим прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления, содержащим оксид ниобия, и пятым прозрачным диэлектрическим слоем с высоким показателем преломления, содержащим оксид ниобия.

[107] В зеркале по любому из предшествующих четырнадцати абзацев первый, второй, третий, четвертый и пятый слои могут быть осажденными распылением слоями.

[108] В зеркале по любому из предшествующих пятнадцати абзацев каждый из второго и четвертого прозрачных диэлектрических слоев с низкими показателями преломления, содержащих оксид кремния, может быть легирован алюминием и/или азотом.

[109] В зеркале по любому из предшествующих шестнадцати абзацев первый, третий и пятый прозрачные диэлектрические слои с высокими показателями преломления, содержащие оксид ниобия, могут иметь показатель преломления от около 2,15 до 2,5, более предпочтительно от около 2,2 до 2,4.

[110] В зеркале по любому из предшествующих семнадцати абзацев второй и четвертый прозрачные диэлектрические слои с низкими показателями преломлениями, содержащие оксид кремния, могут иметь показатель преломления от около 1,4 до 1,7, более предпочтительно от около 1,4 до 1,6.

[111] В зеркале по любому из предшествующих восемнадцати абзацев каждый из второго и четвертого прозрачных диэлектрических слоев с низкими показателями преломления, содержащих оксид кремния, может быть (i) тоньше, чем первый прозрачный диэлектрический слой с высоким показателем преломления, содержащий оксид ниобия, и (ii) толще, чем оба третий и пятый прозрачные диэлектрические слои с высокими показателями преломления, содержащие оксид ниобия.

[112] Зеркало по любому из предшествующих девятнадцати абзацев может иметь пропускание ультрафиолетового света (УС) при 385 нм по меньшей мере около 75%, более предпочтительно по меньшей мере около 80%.

[113] Зеркало по любому из предшествующих двадцати абзацев может быть термически обработанным (например, термически закаленным).

[114] В зеркале по любому из предшествующих двадцати одного абзацев пятый слой может быть внешним слоем покрытия.

[115] Зеркало по любому из предшествующих двадцати двух абзацев может иметь нейтральные значения а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и/или стороне пленки, при этом каждое из значений а* и b* цвета при отражении на стороне стекла и/или стороне пленки составляет от около -2 до +2.

[116] Зеркало по любому из предшествующих двадцати трех абзацев может также включать в себя слой, содержащий NiCr, расположенный между по меньшей мере третьим диэлектрическим слоем и пятым диэлектрическим слоем. Слой, содержащий NiCr, может содержать или может не содержать некоторое количество кислорода и может быть расположен между и может контактировать с третьим и четвертым диэлектрическими слоями, или между и может контактировать с четвертым и пятым диэлектрическими слоями.

[117] Согласно примерам вариантов осуществления этого изобретения предложено зеркало, включающее в себя подложку, несущую покрытие, при этом покрытие содержит по ходу от подложки: первый диэлектрический слой, имеющий толщину около 70-140 нм и показатель (n) преломления от около 2,15 до 2,5; второй диэлектрический слой, содержащий оксид кремния; третий диэлектрический слой, имеющий показатель преломления от около 2,15 до 2,5; четвертый диэлектрический слой, содержащий оксид кремния; пятый диэлектрический слой, имеющий показатель преломления от около 2,15 до 2,5; в котором первый диэлектрический слой по меньшей мере на 10 нм толще, чем один или оба из третьего диэлектрического слоя и/или пятого диэлектрического слоя; в котором покрытие не содержит никакого металлического отражающего слоя; и при этом зеркало имеет отражательную способность в видимой области на стороне пленки и/или отражательную способность в видимой области на стороне стекла около 50-90% и пропускание в видимой области около 20-40%.

[118] В зеркале по непосредственно предшествующему абзацу (i) по меньшей мере один из первого, третьего и пятого диэлектрических слоев может содержать оксид ниобия или состоять по существу из него и/или (ii) по меньшей мере один из первого, третьего и пятого диэлектрических слоев может содержать оксид титана или состоять по существу из него.

[119] В зеркале по любому из предшествующих двух абзацев первый диэлектрический слой может быть по меньшей мере на 10 нм толще, чем оба третий и пятый диэлектрические слои.

[120] В зеркале по любому из предшествующих трех абзацев покрытие может состоять по существу из первого, второго, третьего, четвертого и пятого слоев.

[121] В зеркале по любому из предшествующих четырех абзацев каждый из второго и четвертого диэлектрических слоев, содержащих оксид кремния, может быть (i) тоньше, чем первый диэлектрический слой, и (ii) толще, чем оба третий и пятый диэлектрические слои.

[122] Зеркало по любому из предшествующих пяти абзацев может иметь пропускание ультрафиолетового света (УС) при 385 нм по меньшей мере около 75%, более предпочтительно по меньшей мере около 80% или 85%.

[123] Хотя изобретение было описано применительно к варианту осуществления, считающемуся в настоящее время наиболее практичным и предпочтительным, должно быть понятно, что изобретение не ограничено раскрытым вариантом осуществления, а наоборот, предполагается охватывающим различные модификации и эквивалентные компоновки, включенные в пределы сущности и объем прилагаемой формулы изобретения.

Реферат

Изобретение относится к диэлектрическим зеркалам. Диэлектрическое зеркало включает в себя покрытие, имеющее чередующиеся слои с низкими и высокими показателями преломления. Покрытие зеркала не содержит металлического отражающего слоя из Al или Ag и имеет коэффициент отражения в видимой области на стороне пленки и/или стороне стекла около 50-90%. Изобретение позволяет улучшить характеристики отражения. 24 з.п. ф-лы, 6 ил., 10 табл.

Формула