Мишень для распыления на основе оксида олова, обладающая низким удельным сопротивлением прозрачная электропроводящая пленка, способ изготовления такой пленки и композиция, предназначенная для применения в ней - RU2009120398A

Реферат

1. Композиция, состоящая, по существу, из ! a) от около 60 до около 99 мол.% SnO2, и ! b) от около 1 до около 40 мол.% одного или более материалов, выбранных из группы, состоящей из ! i) Nb2O5, ! ii) NbO, ! iii) NbO2, ! iv) WO2, ! v) выбранного материала, состоящего из а) смеси MoO2 и Мо, и b) Мо, ! vi) W, ! vii) Ta2O5, и ! viii) их смесей, ! где мольные проценты приведены на основании всего продукта и где сумма компонентов а) и b) равна 100. ! 2. Композиция по п.1, состоящая, по существу, из а) от около 90 до около 99 мол.% SnO2 и b) от около 1 до около 10 мол.% компонента b). ! 3. Композиция по п.2, в которой компонент b) состоит из комбинации MoO2 и Мо, где отношение молей MoO2 к молям Мо составляет от около 100:1 до около 1:100. ! 4. Композиция по п.3, в которой отношение молей MoO2 к молям Мо составляет от около 10:1 до около 1:10. ! 5. Спеченный продукт, полученный спеканием композиции по п.1. ! 6. Мишень для распыления, содержащая продукт, полученный спеканием композиции по п.1. ! 7. Прозрачная электропроводящая пленка, приготовленная путем формирования на поверхности подложки прозрачного электропроводящего слоя композиции, состоящей, по существу, из композиции по п.1.