Химическое осаждение из газовой фазы оксида металла, легированного сурьмой - RU2003132541A

Реферат

1. Способ химического осаждения из газовой фазы, предназначенный для нанесения покрытия из оксида металла, легированного сурьмой, на горячую стеклянную подложку, включающий

а) подготовку горячей стеклянной подложки, на поверхность которой необходимо нанести легированное сурьмой покрытие из оксида металла;

б) приготовление однородной смеси подвергнутых испарению реагентов, содержащей соединение металла, кислородсодержащее соединение, воду и сурьмаорганическое соединение, в котором имеется по меньшей мере одна связь C-Sb и которое не подвержено преждевременному гидролизу и/или окислению при температуре ниже 550°F;

в) подачу подвергнутой испарению смеси реагентов к поверхности горячей стеклянной подложки и взаимодействие этой смеси с осаждением на поверхности горячей стеклянной подложки покрытия из оксида металла, легированного сурьмой; и

в) охлаждение стеклянной подложки с нанесенным на нее покрытием до температуры окружающей среды.

2. Способ по п.1 формулы изобретения, согласно которому указанное сурьмаорганическое соединение представляет собой соединение формулы (R¹)_xSb(R² )_3-х, в которой R¹ представляет собой арильную группу, R²представляет собой алкильную группу и х=3 или 2.

3. Способ по п.1 формулы изобретения, согласно которому указанное сурьмаорганическое соединение представляет собой диарилалкильное производное сурьмы.

4. Способ по п.1 формулы изобретения, согласно которому указанное сурьмаорганическое соединение представляет собой триарильное производное сурьмы, выбранное из группы, состоящей из (Mes)₃Sb, Ph₃Sb, (То1у1)₃Sb и (R_хС₆Н_5-х)₃Sb, где R представляет собой органическую короткоцепочечную группу, содержащую в цепи от одного до четырех атомов углерода, и х=1-5.

5. Способ по п.1 формулы изобретения, согласно которому указанное сурьмаорганическое соединение представляет собой Ph₃Sb.

6. Способ химического осаждения из газовой фазы с нанесением на горячую стеклянную подложку покрытия из оксида олова, легированного сурьмой, включающий

а) подготовку горячей стеклянной подложки, на поверхность которой необходимо нанести легированное сурьмой покрытие из оксида олова;

б) приготовление однородной смеси подвергнутых испарению реагентов, содержащей соединение олова, кислородсодержащее соединение, воду и сурьмаорганическое соединение, в котором имеется по меньшей мере одна связь C-Sb и которое не подвержено преждевременному гидролизу и/или окислению при температуре ниже 550°F;

в) подачу подвергнутой испарению смеси реагентов к поверхности горячей стеклянной подложки, где однородная подвергнутая испарению смесь реагентов взаимодействует с осаждением на поверхности горячей стеклянной подложки покрытия из оксида олова, легированного сурьмой; и

г) охлаждение стеклянной подложки с нанесенным на нее покрытием до температуры окружающей среды.

7. Способ по п.6 формулы изобретения, согласно которому указанное оловосодержащее соединение-предшественник представляет собой оловоорганическое соединение.

8. Способ по п.6 формулы изобретения, согласно которому указанное оловосодержащее соединение-предшественник представляет собой диметилоловодихлорид.

9. Способ по п.6 формулы изобретения, согласно которому указанный способ нанесения покрытия представляет собой стадию производства листового стекла с использованием флоат-процесса.

10. Способ по п.9 формулы изобретения, согласно которому указанный способ нанесения покрытия осуществляют в флоат-ванне или вблизи нее.

11. Способ по п.10 формулы изобретения, согласно которому указанный способ нанесения покрытия осуществляют при температуре 900-1350°F.

12. Способ по п.11 формулы изобретения, согласно которому указанный способ нанесения покрытия осуществляют при температуре 1100-1280°F.

13. Способ по п.11 формулы изобретения, согласно которому наносят покрытие толщиной от 1000 до 5000A.

14. Способ по п.12 формулы изобретения, согласно которому наносят покрытие толщиной от 1000 до 3500A.

15. Способ по п.1 формулы изобретения, согласно которому перед осаждением покрытия из оксида олова, легированного сурьмой, на подложку наносят покрытие, препятствующее появлению окраски, а поверх него осаждают указанное покрытие из оксида олова, легированного сурьмой.

16. Способ по п.1 формулы изобретения, согласно которому указанное сурьмаорганическое соединение по существу не взаимодействует с водой и кислородом.

17. Способ химического осаждения из газовой фазы для нанесения покрытия из оксида металла, легированного сурьмой, на горячую стеклянную подложку, включающий

а) подготовку горячей стеклянной подложки, на поверхность которой необходимо нанести легированное сурьмой покрытие из оксида металла;

б) нанесение барьерного слоя, препятствующего диффузии натрия, непосредственно на горячую стеклянную подложку;

в) приготовление однородной смеси подвергнутых испарению реагентов, содержащей соединение металла, кислородсодержащее соединение, воду и сурьмаорганическое соединение, в котором имеется по меньшей мере одна связь Sb-C и которое не подвержено преждевременному гидролизу и/или окислению при температуре ниже 550°F;

г) подачу подвергнутой испарению смеси реагентов к поверхности горячей стеклянной подложки и взаимодействие этой смеси с осаждением на поверхности горячей стеклянной подложки покрытия из оксида металла, легированного сурьмой; и

д) охлаждение стеклянной подложки с нанесенным на нее покрытием до температуры окружающей среды.

18. Способ по п.17 формулы изобретения, согласно которому барьерный слой, препятствующий диффузии натрия, включает диоксид кремния.