Окисляющийся на воздухе стойкий к царапанию защитный слой для оптических покрытий - RU2007126971A

Реферат

1. Изделие, обладающее защитой от царапания, включающее подложку, оптическое покрытие, включающее один или большее количество слоев, находящихся на подложке, и наружный защищающий от царапания слой, включающий интерметаллическое соединение, в котором указанный наружный защищающий от царапания слой обладает толщиной, равной от 1 до 5 нм, и нанесен на слой SiAlO_xN_y.

2. Изделие по п.1, в котором указанное интерметаллическое соединение полностью окислено.

3. Изделие по п.1, в котором указанная подложка является прозрачной подложкой.

4. Изделие по п.3, в котором указанная прозрачная подложка является стеклом с нанесенным на него оптическим покрытием.

5. Изделие по п.4, в котором указанное оптическое покрытие включает один или большее количество слоев NiCrO_x, Ag и SiAlN_x.

6. Изделие по п.1, в котором наружный защищающий от царапания слой не меняет спектра отражения и/или пропускания изделия в видимой или инфракрасной областях спектра.

7. Изделие по п.1, в котором указанный наружный защищающий от царапания слой обладает толщиной, равной от 2 до 5 нм.

8. Способ улучшения защиты оптических покрытий изделия от царапания, включающий нанесение на изделие оптического покрытия, включающего один или большее количество слоев, нанесение на указанное оптическое покрытие слоя, обладающего толщиной, равной 1-5 нм, включающего неокисленное интерметаллическое соединение, для образования защищающего от царапания слоя, в котором указанный защищающий от царапания слой наносят на слой SiAlO_xN_y, и окисление указанного интерметаллического соединения.

9. Способ по п.8, в котором указанная подложка является прозрачным изделием.

10. Способ по п.8, в котором указанная подложка является стеклом.

11. Способ по п.8, в котором указанное оптическое покрытие включает один или большее количество слоев NiCrO_x, Ag и SiAlN_x.

12. Способ по п.8, в котором указанный слой, включающий интерметаллическое соединение, обладает толщиной, равной 1-3 нм, и окислен путем обработки воздухом.

13. Способ по п.8, в котором указанное интерметаллическое соединение обладает теплотой образования оксида, равной менее -150 ккал/моль, и температурой плавления, превышающей 1600°С.

14. Способ по п.13, в котором указанное интерметаллическое соединение обладает теплотой образования оксида, равной менее -200 ккал/моль, и температурой плавления, превышающей 1600°С.

15. Способ по п.8, в котором указанное интерметаллическое соединение окисляется в атмосферном воздухе во в основном прозрачное состояние не позже, чем через 250 ч после осаждения интерметаллического соединения.

16. Способ по п.15, в котором указанное интерметаллическое соединение окисляется во в основном прозрачное состояние не позже, чем через 25 ч после осаждения интерметаллического соединения.

17. Способ по п.16, в котором указанное интерметаллическое соединение окисляется во в основном прозрачное состояние не позже, чем через 1 ч после осаждения интерметаллического соединения.

18. Способ по п.8, в котором указанный слой, содержащий окисленное интерметаллическое соединение, обладает толщиной, равной 2-5 нм, и указанное интерметаллическое соединение окисляется путем обработки плазмой, электрическим разрядом или ионным пучком, содержащим реакционноспособный газ.

19. Способ по п.18, в котором указанным реакционноспособным газом является кислород.

20. Изделие по п.7, в котором указанный защищающий от царапания слой обладает толщиной, равной 1-3 нм.

21. Изделие по п.1, в котором указанным интерметаллическим соединением является цирконий.

22. Способ по п.8, в котором указанным интерметаллическим соединением является цирконий.