Горелка для осаждения в результате сгорания и/или относящиеся к ним способы - RU2010154416A

Реферат

1. Горелка, используемая при осаждении покрытия в результате сгорания на подложку, включающая: ! первый и второй раздельные коллекторы для газа, образованного продуктами сгорания, выполненные с возможностью соответственно производить первое и второе пламя, при этом первый и второй коллекторы для газа, образованного продуктами сгорания, формируют между ними зону реакции предшественника; и ! регулируемый коллектор для доставки предшественника, расположенный между первым и вторым коллекторами для газа, образованного продуктами сгорания, выполненный с возможностью приема предшественника, используемого для формирования покрытия, при этом коллектор для доставки предшественника расположен таким образом, чтобы по существу непосредственно доставлять предшественник на заданный участок зоны реакции предшественника, ! причем коллектор для доставки предшественника включает первую и вторую охлаждаемые стенки, выполненные с возможностью снижения частоты возникновения предварительных реакций предшественника до зоны реакции предшественника. ! 2. Горелка по п.1, дополнительно включающая, по меньшей мере, одну капиллярную систему, предназначенную для приема теплообменной жидкости. ! 3. Горелка по п.2, в котором, по меньшей мере, одна капиллярная система установлена в коллекторе для доставки предшественника. ! 4. Горелка по п.1, дополнительно включающая первый и второй керамические огнеупоры, окружающие первую и вторую охлаждающие стенки. ! 5. Горелка по п.1, в которой каждый упомянутый коллектор для газа, образованного продуктами сгорания, включает множество дренажных каналов и/или, по меньшей мере, одну перегородку, пр