Мишень для получения цветного остекления - RU2019138325A
Код документа: RU2019138325A
Формула
1. Мишень для катодного распыления, полученная, с одной стороны, из оксида, по меньшей мере, одного элемента, выбираемого из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, и, с другой стороны, частиц металла, включенного в группу, образованную серебром, золотом, платиной, медью и никелем, или частиц сплава, образованного, по меньшей мере, из двух таких металлов, причем атомное отношение M/Me в указанной мишени составляет меньше, чем 1,5, где M означает все атомы элементов из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, и Me означает все атомы металлов группы, образованной серебром, золотом, платиной, медью и никелем.
2. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой атомное отношение M/Me составляет меньше, чем 1,2.
3. Мишень по любому из предыдущих пунктов, в которой атомное отношение M/Me составляет меньше, чем 1,0.
4. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой атомное отношение M/Me составляет меньше, чем 0,8.
5. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой M означает один элемент.
6. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой указанный оксид представляет собой оксид титана формулы TiOx с x≤2.
7. Мишень по предыдущему пункту, в которой указанный оксид представляет собой оксид титана формулы TiOx с x<2 и предпочтительно в котором 1,70
8. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой металл представляет собой серебро, золото, платину, медь или никель.
9. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой металл представляет собой серебро, золото или платину.
10. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой металлом является серебро.
11. Мишень по одному из предыдущих пунктов, изготовленная из оксида титана и частиц серебра, причем атомное отношение Ti/Ag в указанной мишени составляет меньше, чем 1,5, предпочтительно меньше, чем 1,4, более предпочтительно меньше, чем 1,0 и очень предпочтительно меньше, чем 0,8 или даже меньше, чем 0,6.
12. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой удельное электрическое сопротивление, измеренное в соответствии со стандартом ASTM F76, составляет меньше, чем 5 Ώ.см.
13. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой пористость составляет меньше, чем 10%.
114. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой распределение Me относительно M является таким, что разность D между максимальным содержанием фазы Me, измеренным в указанной мишени, и минимальным содержанием фазы Me, измеренным в указанной мишени, в множестве зон анализа одинаковой площади 70×70 мкм², составляет меньше, чем 50%, предпочтительно меньше, чем 40%, среднего содержания фазы Me, измеренного в указанной мишени.
15. Мишень по одному из предыдущих пунктов, в которой общее стандартное отклонение, рассчитанное по всему числу измерений, составляет меньше, чем 25% среднего содержания фазы Me, измеренного в указанной мишени.
16. Способ изготовления мишени по одному из предыдущих пунктов, включающий стадию термического распыления на основу, в частности плазменного распыления, смеси оксида металла, по меньшей мере, одного элемента, выбираемого из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, и частиц металла, включенного в группу, образованную серебром, золотом, платиной, медью и никелем, или частиц сплава, образованного, по меньшей мере, из двух этих металлов.
17. Способ изготовления мишени по одному из пп. 1–15, включающий стадию смешивания оксида, по меньшей мере, одного элемента, выбираемого из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, в расплавленной загрузке металла, включенного в группу, образованную серебром, золотом, платиной, медью и никелем, или сплава, образованного, по меньшей мере, из двух этих металлов, и стадию получения указанной мишени.
18. Способ изготовления мишени по предыдущему пункту, в котором стадия смешивания включает распыление или осаждение под действием силы тяжести частиц оксида, по меньшей мере, одного элемента, выбираемого из группы, содержащей титан, кремний и цирконий, в загрузку расплавленного металла.
