Селективное легирование материала - RU2006144399A

Реферат

1. Способ селективного легирования материала, характеризующийся тем, что включает

a) облучение заданного и заранее обработанного образца/области материала,

b) обработку материала с образованием реакционноспособных групп в заданном образце/области материала, и

c) легирование материала методом послойного атомного осаждения с получением в материале образца/области, легированных добавкой.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что облучение заданного и заранее обработанного образца/области материала на стадии а) осуществляют посредством ионизирующего и/или неионизирующего излучения.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что на стадии Ь) осуществляют обработку материала газообразным и/или жидким веществом с получением реакционноспособных групп.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что на стадии Ь) осуществляют обработку материала газом и/или жидкостью, содержащей водород и/или водородсодержащее соединение, с получением реакционноспособных групп.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что реакционноспособные группы включают группы ОН, группы OR, группы SH и/или группы NH_1-4.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что легирующая добавка включает одно или более чем одно вещество, включающее редкоземельный металл, такой как эрбий, иттербий, неодим и церий, вещество из группы бора, такое как бор и алюминий, вещество из группы углерода, такое как германий, олово и кремний, вещество из группы азота, такое как фосфор, вещество из группы фтора, такое как фтор, и/или серебро.

7. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал представляет собой стекло, керамику, полимер, металл и/или их смеси.

8. Способ по п.7, отличающийся тем, что материал представляет собой пористое стекло.

9. Способ по п.1, отличающийся тем, что осуществляют контроль интенсивности одного пучка излучения или интенсивности двух и более пучков излучения в точке их пересечения с получением заданного предварительно обработанного образца/области.

10. Способ по п.1, отличающийся тем, что излучение на стадии а) направляют по меньшей мере из двух различных направлений с получением в материале заранее обработанного образца в трехмерной форме.

11. Способ по п.10, отличающийся тем, что в материале получают оптический волновод в трехмерной форме.

12. Способ по п.1, отличающийся тем, что получают генерирующие напряжение области в заготовке из пористого стекла, применяемого для изготовления оптического волокна.

13. Способ по любому из п.п.1-12, отличающийся тем, что оптический волновод получают на плоской поверхности.

14. Селективно легированный материал, характеризующийся тем, что получен путем

a) облучения заданного и заранее обработанного образца/области материала,

b) обработки материала с образованием реакционноспособных групп в заданном образце/области материала, и

c) легирования материала методом послойного атомного осаждения с получением в материале образца/области, легированных добавкой.

15. Материал по п.14, отличающийся тем, что облучение заданного и заранее обработанного образца/области материала на стадии а) осуществляют посредством ионизирующего и/или неионизирующего излучения.

16. Материал по п.14, отличающийся тем, что на стадии b) осуществляют обработку материала газообразным и/или жидким веществом с получением реакционноспособных групп.

17. Материал по п.14, отличающийся тем, что на стадии b) осуществляют обработку материала газом и/или жидкостью, содержащей водород и/или водородсодержащее соединение, с получением реакционноспособных групп.

18. Материал по п.14, отличающийся тем, что реакционноспособные группы включают группы ОН, группы OR, группы SH и/или группы NH_1-4.

19. Материал по п.14, отличающийся тем, что легирующая добавка включает одно или более чем одно вещество, включающее редкоземельный металл, такой как эрбий, иттербий, неодим и церий, вещество из группы бора, такое как бор и алюминий, вещество из группы углерода, такое как германий, олово и кремний, вещество из группы азота, такое как фосфор, вещество из группы фтора, такое как фтор, и/или серебро.

20. Материал по п.14, отличающийся тем, что материал представляет собой стекло, керамику, полимер, металл и/или их смеси.

21. Материал по п.20, отличающийся тем, что материал представляет собой пористое стекло.

22. Материал по п.14, отличающийся тем, что осуществляют контроль интенсивности одного пучка излучения или интенсивности двух и более пучков излучения в точке их пересечения с получением заданного предварительно обработанного образца/области.

23. Материал по п.14, отличающийся тем, что излучение на стадии а) направляют по меньшей мере из двух различных направлений с получением в материале заранее обработанного образца в трехмерной форме.

24. Материал по п.23, отличающийся тем, что в материале получают оптический волновод в трехмерной форме.

25. Материал по п.14, отличающийся тем, что получают генерирующие напряжение области в заготовке из пористого стекла, применяемого для изготовления оптического волокна.

26. Материал по п.14, отличающийся тем, что оптический волновод получают на плоской поверхности.

27. Система для изготовления селективно легированного материала, охарактеризованного в любом из пп.14-26, включающая

источник излучения для облучения заданного заранее обработанного образца/области материала;

средства для обработки материала для получения реакционноспособных групп в заданном образце/области материала; и

устройство для послойного атомного осаждения для легирования материала легирующей добавкой для получения легированного образца/области в материале.

28. Система по п.27, отличающаяся тем, источник излучения включает источник ионизирующего и/или неионизирующего излучения.

29. Система по п.27 или 28, отличающийся тем, что содержат по меньшей мере два источника излучения для направления излучения по меньшей мере из двух различных направлений.

30. Применение способа, охарактеризованного в любом из пп.1-13, для изготовления оптического волокна, оптического плоского волновода и/или плоского волновода, имеющего трехмерную форму.