Способ и устройство для выполнения процесса плазмохимического осаждения из паровой фазы - RU2017134373A

1. Способ выполнения процесса плазмохимического осаждения из паровой фазы, при котором:

обеспечивают устройство, содержащее в основном цилиндрический резонатор, снабженный внешней цилиндрической стенкой и внутренней коаксиальной цилиндрической стенкой, образующими между собой резонирующую полость, работающую на рабочей частоте и проходящую в окружном направлении вокруг цилиндрической оси внутренней и внешней цилиндрической стенки, причем внешняя цилиндрическая стенка включает в себя входной порт, соединяемый с входным волноводом, при этом внутренняя цилиндрическая стенка включает в себя щелевидные секции, проходящие в окружном направлении вокруг цилиндрической оси, и

обеспечивают работу устройства на такой рабочей частоте, что наибольший размер, определяющий апертуру щелевидных секций, является меньшим, чем половина длины волны рабочей частоты.

2. Способ по п. 1, в котором устройство коаксиально окружает трубку-подложку, имеющую внешний диаметр, равный более чем трети длины волны рабочей частоты.

3. Устройство для выполнения процесса плазмохимического осаждения из паровой фазы, содержащее в основном цилиндрический резонатор, снабженный внешней цилиндрической стенкой и внутренней коаксиальной цилиндрической стенкой, образующими между собой резонирующую полость, работающую на рабочей частоте и проходящую в окружном направлении вокруг цилиндрической оси внутренней и внешней цилиндрической стенки, причем внешняя цилиндрическая стенка включает в себя входной порт, соединяемый с входным волноводом, при этом внутренняя цилиндрическая стенка включает в себя щелевидные секции, проходящие в окружном направлении вокруг цилиндрической оси, причем наибольший размер, определяющий апертуру щелевидных секций, является меньшим, чем половина длины волны рабочей частоты.

4. Устройство по п. 3, в котором окружной размер щелевидных секций является меньшим, чем половина длины волны рабочей частоты.

5. Устройство по п. 3 или 4, в котором щелевидные секции чередуются на двух линиях щелей, описывающих окружность вокруг цилиндрической оси.

6. Устройство по любому из пп. 3-5, в котором щелевидные секции смещены друг относительно друга в цилиндрическом направлении.

7. Устройство по любому из пп. 3-6, в котором размер ширины щелевидных секций в цилиндрическом направлении является меньшим, чем окружной размер щелевидных секций.

8. Устройство по любому из пп. 3-7, в котором внутренняя цилиндрическая стенка включает в себя две или четыре щелевидные секции.

9. Устройство по любому из пп. 3-8, в котором щелевидные секции в основном равномерно распределены в окружном направлении.

10. Устройство по любому из пп. 3-9, содержащее по меньшей мере одну пару щелевидных секций, которые расположены симметрично относительно цилиндрической оси.

11. Устройство по любому из пп. 3-10, в котором по меньшей мере одна щелевидная секция имеет площадь сечения, которая является отличной от площади сечения других щелевидных секций.

12. Устройство по любому из пп. 3-11, в котором длина резонирующей полости в цилиндрическом направлении изменяется как функция радиального расстояния до цилиндрической оси.

13. Устройство по любому из пп. 3-12, дополнительно содержащее СВЧ-генератор, который выполнен с возможностью генерирования СВЧ-волн на рабочей частоте.

14. Устройство по любому из пп. 3-13, в котором наибольшим размером, определяющим апертуру щелевидных секций, является линейный размер.