Устройство для осуществления процесса плазменного химического осаждения из паровой фазы - RU2012154235A

Реферат

1. Устройство для осуществления процесса плазменного химического осаждения из паровой фазы, содержащее, по существу, цилиндрический резонатор, снабженный наружной цилиндрической стенкой, заключающей резонансную полость, проходящую в периферийном направлении вокруг оси цилиндра, причем резонатор дополнительно снабжен частями боковой стенки, ограничивающими резонансную полость в направлении цилиндра, и щелевой структурой, проходящей в периферийном направлении вокруг оси цилиндра и обеспечивающей доступ из резонансной полости радиально внутрь,при этом щелевая структура содержит щелевые секции, которые являются взаимно смещенными в направлении цилиндра.2. Устройство по п.1, в котором каждая из щелевых секций проходит в указанном в периферийном направлении в пределах полукруга.3. Устройство по п.1 или 2, в котором периферийное крайнее положение первой щелевой секции, по существу, совпадает с периферийным исходным положением второй щелевой секции.4. Устройство по п.1 или 2, в котором периферийный размер щелевых секций больше ширины щелевых секций.5. Устройство по п.1 или 2, в котором щель сформирована парой щелевых секций, обращенных друг к другу при наблюдении в направлении цилиндра.6. Устройство по п.1 или 2, в котором смещение между щелевыми секциями составляет примерно четверть длины волны плазмы (микроволновой).7. Устройство по п.1 или 2, в котором смещение между щелевыми секциями больше примерно 5 мм, предпочтительно в диапазоне от примерно 30 мм до примерно 50 мм.8. Устройство по п.1 или 2, дополнительно содержащее СВЧ волновод, конец которого проходит через наружную цилиндрическую стенку в резонансную полость.9. Уст�