Способ изготовления заготовки оптического волокна (варианты) - RU2004130442A

Реферат

1. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:

(a) использование трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;

(b) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла;

(c) осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности;

(d) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и

(e) повторение операций (с) и (d) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.

2. Способ по п.1, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с

первой скоростью перемещения (TF1), в то время как производят инжектирование,

химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором скорость TF1 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение и уплотнение на внутренней поверхности трубчатого элемента, одновременно с осаждением и уплотнением на внешней поверхности.

3. Способ по п.1, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности со второй скоростью TR1, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя, в котором скорость TR1 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменое пламя, без существенного уплотнения.

4. Способ по п.2, в котором в операции (d) производят инжектирование химикатов в плазменное пламя в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.

5. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:

(а) использование исходного трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси, при этом указанный исходный трубчатый элемент выполнен с возможностью стравливания при помощи плазменного пламени;

(b) образование нового трубчатого элемента внутри указанного исходного трубчатого элемента, путем:

(b1) одновременного осаждения внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнения внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла с использованием плазменного пламени;

(b2) травления материала с внешней поверхности трубчатого элемента при помощи указанного плазменного пламени; и

(b3) повторения операций (b1) и (b2) до тех пор, пока трубчатый элемент не будет вытравлен с образованием нового трубчатого элемента, имеющего указанные слои кварцевого стекла, причем новый трубчатый элемент имеет внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, при этом внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;

(c) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла;

(d) осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности;

(e) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и

(f) повторение операций (d) и (е) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.

6. Способ по п.5, в котором операция (е) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;

вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с первой скоростью перемещения (TF1), в то время как производят инжектирование

химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF1 выбирают таким образом, что плазменное пламя вызывает осаждение и уплотнение на внутренней поверхности нового трубчатого элемента, одновременно с осаждением и уплотнением на указанной внешней поверхности.

7. Способ по п.1, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;

вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль внешней поверхности со второй скоростью TR1, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя, в котором TR1 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния, в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя, без существенного уплотнения.

8. Способ по п.6, в котором в операции (е) производят инжектирование CFIT химикатов, протекающих в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.

9. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:

(a) использование трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;

(b) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла;

(c) осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности, одновременно с осаждением второго слоя сажи из диоксида кремния на внутренней поверхности;

(d) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи и второго внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и

(e) повторение операций (с) и (d) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.

10. Способ по п.9, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с

первой скоростью перемещения (TF1), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF1 выбирают таким образом, что плазменное пламя вызывает указанное осаждение и уплотнение на внутренней поверхности трубчатого элемента, одновременно с указанным осаждением и уплотнением на внешней поверхности.

11. Способ по п.9, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль внешней поверхности со второй скоростью TR2, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в полость, в котором TR2 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя без существенного уплотнения, и осаждение второго внутреннего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в полость, без существенного уплотнения.

12. Способ по п.10, в котором в операции (d) инжектирование химикатов, в полость производят протекающих в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.

13. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:

(а) использование исходного трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси, при этом указанный исходный трубчатый элемент выполнен с возможностью стравливания при помощи плазменного пламени;

(b) образование нового трубчатого элемента внутри указанного исходного трубчатого элемента, за счет:

(b1) одновременного осаждения внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнения внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла с использованием плазменного пламени;

(b2) травления материала с внешней поверхности трубчатого элемента при помощи указанного плазменного пламени; и

(b3) повторения операций (b1) и (b2) до тех пор, пока указанный трубчатый элемент не будет вытравлен с образованием нового трубчатого элемента, имеющего указанные слои кварцевого стекла, причем указанный новый трубчатый элемент имеет внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, при этом указанная внутренняя поверхность и указанная внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;

(c) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на указанной внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла;

(d) осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней поверхности и второго слоя сажи из диоксида кремния на указанной внутренней поверхности;

(e) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение внутреннего слоя сажи на указанной внутренней поверхности и уплотнение внутреннего слоя сажи и указанного второго внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и

(f) повторение операций (d) и (е) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.

14. Способ по п.13, в котором операция (е) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с третьей скоростью (TF2), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в полость, в котором TF2 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное осаждение и уплотнение на внутренней поверхности нового трубчатого элемента, одновременно с указанным осаждением и уплотнением на указанной внешней поверхности.

15. Способ по п.13, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;

вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с четвертой скоростью перемещения TR2, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя с первой скоростью, в котором TR2 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя без существенного уплотнения, и осаждение второго внутреннего слоя сажи из диоксида кремния, без существенного уплотнения.

16. Способ по п.14, в котором в операции (е) инжектирование химикатов, в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.

17. Способ по п.15, в котором в операции (d) инжектирование химикатов, в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.

18. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:

(a) использование трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;

(b) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и осаждение внутреннего слоя сажи;

(c) одновременное уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла и внутреннего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла; и

(d) повторение операций (b) и (с) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.

19. Способ по п.18, в котором операция (b) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с пятой скоростью перемещения (TF3), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF3 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектрованными в плазменное пламя, и осаждение внутреннего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в полость.

20. Способ по п.18, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с шестой скоростью TR3, в котором TR3 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное уплотнение внутреннего слоя сажи из диоксида кремния и указанное уплотнение указанного внешнего слоя сажи из диоксида кремния.

21. Способ по п.19, в котором в операции (b) инжектирование химикатов, в полость производят протекающих в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.

22. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:

(а) использование исходного трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси, при этом указанный исходный трубчатый элемент выполнен с возможностью стравливания при помощи плазменного пламени;

(b) образование нового трубчатого элемента внутри указанного исходного трубчатого элемента, за счет:

(b1) одновременного осаждения внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнения внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла с использованием плазменного пламени;

(b2) травления материала с внешней поверхности трубчатого элемента при помощи указанного плазменного пламени; и

(b3) повторения операций (b1) и (b2) до тех пор, пока указанный трубчатый элемент не будет вытравлен с образованием нового трубчатого элемента, имеющего указанные слои кварцевого стекла, причем указанный новый трубчатый элемент имеет внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, при этом указанная внутренняя поверхность и указанная внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;

(c) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней поверхности и осаждение внутреннего слоя сажи на указанной внутренней поверхности;

(d) одновременное уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в слой кварцевого стекла и внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла; и

(e) повторение операций (с) и (d) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.

23. Способ по п.22, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно указанной внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с пятой скоростью перемещения (TF3), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF3 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя, и осаждение внутреннего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в полость.

24. Способ по п.22, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с шестой скоростью TR3, в котором TR3 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит указанное уплотнение внутреннего слоя сажи из диоксида кремния и указанное уплотнение указанного внешнего слоя сажи из диоксида кремния.

25. Способ по п.23, в котором в операции (с) производят инжектирование CFIT химикатов, протекающих в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.

26. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:

(a) использование трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;

(b) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и осаждение внутреннего слоя сажи из главным образом чистого диоксида кремния на внутренней поверхности;

(c) одновременное осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней цилиндрической поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение легирующих примесей на указанный внутренний слой сажи, и уплотнение внутреннего слоя сажи и легирующих примесей в слой кварцевого стекла, легированного в соответствии с указанными легирующими примесями; и

(d) повторение операций (b) и (с) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.

27. Способ по п.26, в котором операция (b) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с седьмой скоростью перемещения (TF4), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF4 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение указанной легирующей примеси и уплотнение на внутренней поверхности трубчатого элемента, одновременно с указанным осаждением и уплотнением на внешней поверхности.

29. Способ по п.26, в котором операция (b) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с восьмой скоростью перемещения TR4, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в полость, причем TR4 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя, без существенного уплотнения, и осаждение внутреннего слоя сажи из главным образом чистого диоксида кремния, без существенного уплотнения, при этом химикаты, инжектированными в полость главным образом содержат SiCl₄.

29. Способ по п.27, в котором в операции (b) инжектирование CFIT химикатов, в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в обратном направлении относительно направления потока.

30. Способ по п.27, в котором в операции (с) производят инжектирование CFIT химикатов, в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.

31. Способ изготовления заготовки оптического волокна, который включает в себя следующие операции:

(а) использование исходного трубчатого элемента, имеющего центральную ось, цилиндрическую полость, внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, причем внутренняя поверхность и внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси, при этом указанный исходный трубчатый элемент выполнен с возможностью стравливания при помощи плазменного пламени;

(b) образование нового трубчатого элемента внутри указанного исходного трубчатого элемента, за счет:

(b1) одновременного осаждения внутреннего слоя сажи на внутренней поверхности и уплотнения внутреннего слоя сажи в слой кварцевого стекла с использованием плазменного пламени;

(b2) травления материала с внешней поверхности трубчатого элемента при помощи указанного плазменного пламени; и

(b3) повторения операций (b1) и (b2) до тех пор, пока указанный трубчатый элемент не будет вытравлен с образованием нового трубчатого элемента, имеющего указанные слои кварцевого стекла, причем указанный новый трубчатый элемент имеет внутреннюю поверхность, окружающую полость, и внешнюю поверхность, при этом указанная внутренняя поверхность и указанная внешняя поверхность соосны друг с другом относительно центральной оси;

(c) одновременное осаждение внешнего слоя сажи из диоксида кремния на внешней поверхности и осаждение внутреннего слоя сажи из главным образом чистого диоксида кремния на внутренней поверхности;

(d) одновременное осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния на указанной внешней поверхности и уплотнение внешнего слоя сажи из диоксида кремния и указанного второго внешнего слоя сажи в слой кварцевого стекла, и осаждение легирующих примесей на указанный внутренний слой сажи и уплотнение внутреннего слоя сажи и легирующих примесей в слой кварцевого стекла, легированного в соответствии с указанными легирующими примесями; и

(е) повторение операций (с) и (d) до тех пор, пока не будет образована заданная толщина указанных слоев кварцевого стекла.

32. Способ по п.31, в котором операция (d) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с седьмой скоростью перемещения (TF4), в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в цилиндрическую полость, в котором TF4 выбирают таким образом, что плазменное пламя вызывает указанное осаждение и уплотнение легирующей примеси на внутренней поверхности нового трубчатого элемента, одновременно с указанным осаждением и уплотнением на указанной внешней поверхности.

33. Способно п.31, в котором операция (с) включает в себя следующие операции:

генерирование плазменного пламени, имеющего профиль температур относительно внешней поверхности;

вращение нового трубчатого элемента относительно центральной оси со скоростью R; и

перемещение плазменного пламени вдоль указанной внешней поверхности с восьмой скоростью перемещения TR4, в то время как производят инжектирование химикатов в плазменное пламя и инжектирование химикатов в полость, причем TR4 выбирают таким образом, что плазменное пламя производит осаждение второго внешнего слоя сажи из диоксида кремния в соответствии с химикатами, инжектированными в плазменное пламя без существенного уплотнения, и осаждение внутреннего слоя сажи из главным образом чистого диоксида кремния, без существенного уплотнения, причем химикаты, инжектированные в полость главным образом состоят из SiCl₄.

34. Способ по п.32, в котором в операции (с) инжектирование CFIT химикатов, в полость производят в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в обратном направлении относительно направления потока.

35. Способ по п.33, в котором в операции (d) инжектирование CFIT химикатов, в полость производят протекающих в направлении потока, главным образом параллельно центральной оси, причем указанное перемещение производят в указанном направлении потока.