Стеклянный поддон для распылительных систем - RU2015154983A

1. Поддон для транспортировки множества стеклянных подложек через напылительную установку, содержащий

раму, содержащую отверстие;

регулируемую опорную матрицу внутри отверстия, которая выполнена с возможностью удержания множества стеклянных подложек различной формы и/или размеров, причем

поддон выполнен с возможностью удержания каждой подложки из упомянутого множества стеклянных подложек по меньшей мере за два края и по существу в вертикальном положении во время транспортировки через распылительную установку.

2. Поддон по п.1, в котором отверстие составляет между примерно 60 и 130 дюймами вдоль первого измерения, и между примерно 72 дюймами и примерно 205 дюймами вдоль второго измерения.

3. Поддон по п.1, дополнительно содержащий множество стеклянных подложек, в которых рабочая поверхность каждой из множества стеклянных подложек скрыта по ее периферии между примерно 2 мм и примерно 15 мм.

4. Поддон по п. 1, дополнительно содержащий электропроводный компонент, выполненный с возможностью установления электрической связи с электропроводным покрытием на рабочей поверхности каждой подложки из множества стеклянных подложек.

5. Поддон по п. 1, дополнительно содержащий перекрывающиеся части выполненные с возможностью предотвращения загрязнения задней стороны множества стеклянных подложек во время распыления.

6.Поддон по п. 1, который выполнен с возможностью подвешивания к системе привода в распылительной установке.

7. Поддон по п. 1, дополнительно содержащий один или более щитков для покрытия участков поддона в процессе распыления.

8. Поддон по п.7, дополнительно содержащий удерживающую деталь щитка, которая компенсирует различия в тепловом расширении между одним или более щитками и рамой.

9. Поддон по п.7, дополнительно содержащий краевые участки рамы, выполненные с возможностью перекрываться со смежными поддонами и защищать задние стороны множества стеклянных подложек от остатков распыления.

10. Поддон по п. 1, в котором регулируемая опорная матрица содержит систему вертикальных и горизонтальных опорных стержней, в которой вертикальные опорные стержни выполнены с возможностью поддержки множества стеклянных подложек на их вертикальных кромках, в которой горизонтальные опорные стержни выполнены с возможностью поддержки множества стеклянных подложек на их горизонтальных кромках, в которой концы горизонтальных опорных стержней соединены с возможностью скольжения с вертикальными опорными стержнями.

11. Поддон по п. 1, в котором регулируемая опорная матрица содержит

систему вертикальных опорных стержней, выполненную с возможностью поддержки каждой подложки из множества стеклянных подложек вдоль их вертикальных кромок; и

горизонтальные зажимы, выполненные с возможностью удержания и защиты краев соприкасающихся стеклянных подложек.

12. Поддон по п. 1, в котором регулируемая опорная матрица содержит

систему вертикальных опорных стержней, выполненную с возможностью поддержки каждой подложки из множества стеклянных подложек вдоль их вертикальных кромок; и

в которой стеклянные подложки укладываются уложены друг на друга по вертикали без промежуточной горизонтальной опоры между смежными стеклянными подложками.

13. Поддон по п.10, в котором вертикальные опорные стержни содержат пружину, которая обеспечивает возможность сжатия и расширения каждой подложке из множества стеклянных подложек, сохраняя каждую подложку из множества стеклянных подложек по центру в пространстве между двумя вертикальными опорными стержнями.

14. Поддон для транспортировки стеклянной подложки через распылительную установку, содержащий

раму;

отверстие в раме,

причем поддон выполнен с возможностью удержания стеклянной подложки по меньшей мере за два края и по существу в вертикальном положении во время транспортировки через распылительную установку, причем

стеклянная подложка имеет размеры между примерно 60 дюймами и примерно 130 дюймами вдоль одной стороны и между примерно 72 дюймами и 205 дюймами вдоль другой стороны, при этом

стеклянная подложка имеет толщину между примерно 2 мм и примерно 20 мм.

15. Поддон по п.14, в котором рабочая поверхность стеклянной подложки скрыта по периферии между примерно 2 мм и примерно 15 мм.

16. Поддон по п.14, дополнительно содержащий электропроводный компонент, выполненный с возможностью установления электрической связи с электропроводным покрытием на рабочей поверхности стеклянной подложки.

17. Поддон по п.14, который выполнен с возможностью поддержания своей температуры в пределах ±5°C от температуры стеклянной подложки во время распыления.

18. Поддон по п.14, который выполнен с возможностью предотвращения загрязнения задней стороны стеклянной подложки во время распыления.

19. Поддон по п.14, дополнительно содержащий направляющую планку вдоль своей верхней кромки для выравнивания относительно направляющих роликов в распылительной установке.

20. Поддон по п.14, дополнительно содержащий направляющий стержень вдоль своей нижней кромки для выравнивания относительно системы привода в распылительной установке.

21. Поддон по п.20, который выполнен с возможностью подвешивания к системе привода в распылительной установке.

22. Поддон по п.20, который выполнен с возможностью транспортировки с помощью системы привода с магнитной левитацией.

23. Поддон по п.14, дополнительно содержащий один или более щитков для покрытия участков поддона в процессе распыления.

24. Поддон по п.23, дополнительно содержащий краевые участки рамы, выполненные с возможностью перекрываться со смежными поддонами и защищать задние стороны множества стеклянных подложек от остатков распыления.

25. Поддон по п.14, дополнительно содержащий сетку, включающую одну или более пружин, которые обеспечивают расширение и сжатие стеклянной подложки, удерживая стеклянную подложку по центру в пространстве между внутренними вертикальными краями рамы.

26. Поддон по п.14, который выполнен с возможностью механического соединения со смежными поддонами в модульном формате для формирования состава поддонов, выполненных с возможностью поступательного перемещения через распылительную установку.

27. Поддон по п.26, который выполнен с возможностью обеспечивать регулируемый зазор между смежными поддонами, которые механически соединены между собой, причем регулируемый зазор активно контролируется системой привода распылительной установки.

28. Поддон по п.27, в котором минимальное расстояние регулируемого зазора контролируется механическим ограничением.

29. Встроенная система осаждения методом распыления, содержащая

множество секций осаждения;

множество поддонов, каждый поддон содержит:

раму с отверстием, и

регулируемую опорную матрицу внутри отверстия, которая выполнена с возможностью удержания каждой подложки из множества стеклянных подложек по меньшей мере за два края и по существу в вертикальном положении во время транспортировки через множество секций осаждения; и

систему привода для контроля перемещения множества поддонов через множество секций осаждения.

30. Встроенная система осаждения методом распыления по п.29, в которой каждый из поддонов выполнен в модульном формате и с возможностью механического соединения со смежными поддонами для формирования состава поддонов, выполненных с возможностью поступательного перемещения через распылительную установку.

31. Встроенная система осаждения методом распыления по п.29, в которой поддон выполнен с возможностью обеспечивать регулируемый зазор между смежными поддонами, которые механически соединены между собой, причем регулируемый зазор активно контролируется системой привода распылительной установки.

32. Встроенная система осаждения методом распыления по п.31, в котором регулируемый зазор поддерживается выше минимального расстояния.

33. Встроенная система осаждения методом распыления по п.29, в которой регулируемая опорная матрица каждого поддона включает одну или более пружин, которые обеспечивают расширение и сжатие стеклянной подложки, удерживая стеклянную подложку по центру в пространстве между внутренними вертикальными краями рамы.

34. Встроенная система осаждения методом распыления по п.29, в которой каждая рама включает краевые участки, которые защищают заднюю стенку стеклянных подложек от остатков распыления.

35. Встроенная система осаждения методом распыления по п.29, в которой каждый из поддонов выполнен в модульном формате и с возможностью поступательного перемещения через распылительную установку без крепления к любому другому поддону.

36. Встроенная система осаждения методом распыления по п.35, в котором каждый поддон выполнен с возможностью обеспечивать регулируемый зазор между смежными поддонами, который активно контролируется системой привода.

37. Встроенная система осаждения методом распыления по п.29, в которой регулируемая опорная матрица каждого поддона включает одну или более пружин, которые обеспечивают расширение и сжатие стеклянной подложки удерживая стеклянную подложку по центру в пространстве между внутренними вертикальными краями рамы.

38. Встроенная система осаждения методом распыления по п.29, в котором регулируемая опорная матрица содержит систему вертикальных и горизонтальных опорных стержней, в которой вертикальные опорные стержни выполнены с возможностью поддержки множества стеклянных подложек на их вертикальных кромках, причем горизонтальные опорные стержни выполнены с возможностью поддержки множества стеклянных подложек на их горизонтальных кромках, и концы горизонтальных опорных стержней соединены с возможностью скольжения с вертикальными опорными стержнями.

39. Встроенная система осаждения методом распыления по п.38, в котором вертикальные опорные стержни прикреплены к одной или более вертикальным решетчатым опорам, причем одна или более вертикальные решетчатые опоры соединены с возможностью скольжения с рамой поддона.