Способы получения легированного галогеном диоксида кремния - RU2020115880A

1. Способ получения легированного галогеном диоксида кремния, включающий в себя этапы, на которых

легируют сажевое тело диоксида кремния предшественником легирующей примеси, при этом предшественник легирующей примеси содержит галоген и имеет парциальное давление больше чем 2 атм (0,20265 МПа), а легирование осуществляют при температуре от 1000°С до 1500°С;

уплотняют легированное сажевое тело диоксида кремния, чтобы образовать тело диоксида кремния с закрытыми порами, при этом тело диоксида кремния с закрытыми порами содержит диоксид кремния, легированный галогеном; и

воздействуют газом на тело диоксида кремния с закрытыми порами в течение периода времени, составляющего по меньшей мере 1,0 ч, при этом газ имеет давление по меньшей мере 2,0 атм (0,20265 МПа).

2. Способ по п. 1, в котором газ имеет давление по меньшей мере 5,0 атм (0,506625 МПа).

3. Способ по п. 1, в котором газ имеет давление по меньшей мере 20,0 атм (2,0265 МПа).

4. Способ по п. 1, в котором галоген содержит хлор.

5. Способ по п. 4, в котором концентрация хлора в теле диоксида кремния с закрытыми порами составляет по меньшей мере 2,0 мас.%.

6. Способ по п. 1, в котором галоген содержит бром.

7. Способ по п. 6, в котором концентрация брома в теле диоксида кремния с закрытыми порами составляет по меньшей мере 2,0 мас.%.

8. Способ по п. 1, в котором тело диоксида кремния с закрытыми порами содержит непрореагировавший предшественник легирующей примеси, при этом непрореагировавший предшественник легирующей примеси содержит галоген и занимает пустоту или промежуток в теле диоксида кремния с закрытыми порами.

9. Способ получения легированного галогеном диоксида кремния, включающий в себя этапы, на которых легируют сажевое тело диоксида кремния предшественником легирующей примеси, при этом предшественник легирующей примеси содержит галоген и имеет парциальное давление больше чем 2 атм (0,20265 МПа), а легирование осуществляют при температуре от 1000°С до 1500°С; уплотняют легированное сажевое тело диоксида кремния, чтобы образовать тело диоксида кремния с закрытыми порами, при этом тело диоксида кремния с закрытыми порами содержит диоксид кремния, легированный галогеном; и нагревают тело диоксида кремния с закрытыми порами при температуре в пределах от 1000°С до 1500°С в течение периода времени по меньшей мере 1,0 ч.

10. Способ по п. 9, в котором галоген содержит хлор.

11. Способ по п. 10, в котором концентрация хлора в теле диоксида кремния с закрытыми порами составляет по меньшей мере 2,0 мас.%.

12. Способ по п. 9, в котором галоген содержит бром.

13. Способ по п. 12, в котором концентрация брома в теле диоксида кремния с закрытыми порами составляет по меньшей мере 1,0 мас.%.

14. Способ по п. 9, в котором период времени составляет по меньшей мере 4,0 ч.

15. Способ по п. 9, в котором тело диоксида кремния с закрытыми порами содержит непрореагировавший предшественник легирующей примеси, при этом непрореагировавший предшественник легирующей примеси содержит галоген и занимает пустоту или промежуток в теле диоксида кремния с закрытыми порами.

16. Способ по п. 9, дополнительно включающий в себя термическую обработку тела диоксида кремния с закрытыми порами, при этом термическая обработка включает в себя воздействие на тело диоксида кремния с закрытыми порами температурой в пределах от 1300°С до 1600°С в течение периода времени, составляющего по меньшей мере 1,0 ч, при этом термическую обработку начинают по окончании нагрева.

17. Способ по п. 9, дополнительно включающий в себя воздействие на тело диоксида кремния с закрытыми порами газом, имеющим давление по меньшей мере 2,0 атм (0,20265 МПа).

18. Способ по п. 9, в котором предшественник легирующей примеси имеет парциальное давление по меньшей мере 5,0 атм (0,506625 МПа).

19. Способ по п. 9, дополнительно включающий в себя вытягивание или повторное вытягивание тела диоксида кремния с закрытыми порами, при этом вытягивание или повторное вытягивание включает в себя нагрев тела диоксида кремния с закрытыми порами до температуры по меньшей мере 1700°С, а вытягивание или повторное вытягивание начинают по окончании нагрева.

20. Легированный галогеном диоксид кремния, полученный способом, включающим в себя способ по п. 9.

21. Оптическое волокно, содержащее легированный галогеном диоксид кремния по п. 20.