Способ и устройство для модификации поверхностей - RU2010106883A

Реферат

1. Устройство для нанесения покрытий на подложки с алмазоподобными слоями, содержащее некоторое количество устройств, а именно: ! i) источник фильтруемой дуги ионов металла; ! ii) источник фильтруемой дуги ионов углерода или лазерный абляционный источник углерода; ! iii) ионную пушку низкой энергии; ! iv) устройство для инфракрасного нагрева; ! v) устройство охлаждения. ! причем эти одиночные устройства расположены в одной вакуумной камере или рядно каждое в отдельной камере. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что источником металла является импульсный или не импульсный источник ионов фильтруемой дуги. ! 3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что источником углерода является импульсный или не импульсный источник ионов фильтруемой или не фильтруемой дуги. ! 4. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что источником углерода является импульсный источник дуги с регулируемым уровнем фильтрации макрочастиц, чтобы получить отфильтрованный, частично отфильтрованный или не фильтрованный поток ионов углерода. ! 5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что уровень фильтрации ионного потока углерода можно регулировать в процессе напыления. ! 6. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что источник углерода имеет графитный катод в форме цилиндра, поворачивающийся вокруг своей оси, и катодное пятно вертикально перемещается по периметру. ! 7. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что источником углерода является импульсный источник электрически воспламеняемой углеродной дуги с частотным диапазоном 1-15 Гц, предпочтительно 1-5 Гц. ! 8. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что источник углерода содержит по меньшей мере д�