Способ нанесения покрытия на покрытую карбидом кремния подложку - RU2008117189A

Реферат

1. Способ изготовления устройства для измерения деформации, отличающийся тем, что он включает в себя следующие стадии: ! а) применение лазерной обработки к SiC-й поверхности детали, образованной подложкой (10), покрытой слоем (12) карбида кремния (SiC), нанесенным химическим осаждением из паровой фазы, причем лазерная обработка включает в себя воздействие лазерными импульсами с целью увеличения шероховатости упомянутой поверхности; ! б) нанесение покрытия (30) из оксида алюминия на упомянутую SiC-ю поверхность атмосферным термическим напылением; ! в) размещение тензометрического датчика (40) со свободной нитью на упомянутом покрытии (30), причем этот датчик удерживается на его опоре (43), и упомянутая опора имеет отверстия (44); ! г) нанесение второго покрытия (50) из оксида алюминия на тензометрический датчик (40) и на покрытие (30) атмосферным термическим напылением через упомянутые отверстия (44); ! д) удаление упомянутой опоры (43); и ! е) нанесение третьего покрытия (60) из оксида алюминия атмосферным термическим напылением на упомянутое первое покрытие (30), на упомянутое второе покрытие (50) и на упомянутый тензометрический датчик (40). ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что лазер представляет собой Nd:YAG лазер, имеющий продолжительность импульса в 10 нс, количество лазерных импульсов на точку поверхности, лежащее в диапазоне от 200 до 500, и интегральную плотность энергии лазера, составляющую 2 Дж/см2. ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что атмосферное термическое напыление выбирают между плазменным напылением и пламенным напылением. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что упомянутую подложку (10) выбирают между композиционным материалом, имею�