Деталь, содержащая подложку и защитный барьер - RU2019123997A
Код документа: RU2019123997A
Формула
1. Деталь, содержащая подложку, имеющая, смежно поверхности подложки, по меньшей мере участок, изготовленный из материала, содержащего кремний, и защитный барьер, образованный на поверхности подложки, причем защитный барьер содержит по меньшей мере первый слой, содержащий:
- дисиликат редкоземельного элемента с формулой REa2Si2O7 с молярным содержанием в диапазоне от 70% до 99,9%, где REa - редкоземельный элемент; и
- по меньшей мере один оксид редкоземельного элемента с формулой REb2O3 с молярным содержанием в диапазоне от 0,1% до 30%, где REb - это редкоземельный элемент, отличный от REa.
2. Деталь по п. 1, где REb выбран из тербия (Tb), эрбия (Er), диспрозия (Dy), гадолиния (Gd), европия (Eu), лютеция (Lu), самария (Sm), иттрия (Y) и иттербия (Yb).
3. Деталь по п. 2, где REb выбран из тербия (Tb), эрбия (Er) и диспрозия (Dy).
4. Деталь по п. 1, в которой дисиликат редкоземельного элемента с формулой REa2Si2O7 представлен в первом слое с молярным содержанием в диапазоне от 80% до 95%, и указанный по меньшей мере один оксид редкоземельного элемента с формулой REb2O3 представлен в первом слое с молярным содержанием в диапазоне от 5% до 20%.
5. Деталь по п. 1, где REa выбран из иттрия (Y) и иттербия (Yb).
6. Деталь по п. 1, где защитный барьер дополнительно содержит второй слой, представленный на первом слое, второй слой, содержащий по меньшей мере один моносиликат редкоземельного элемента с формулой REc2SiO5, где REc - это редкоземельный элемент.
7. Деталь по п. 6, в которой второй слой содержит по меньшей мере:
- моносиликат редкоземельного элемента с формулой REc2SiO5 с молярным содержанием в диапазоне от 85% до 99,9%; и
- по меньшей мере один оксид редкоземельного элемента с формулой REd2O3 с молярным содержанием в диапазоне от 0,1% до 15%, где REd - это редкоземельный элемент, отличный от REc.
8. Деталь по п. 7, где REd выбран из тербия (Tb), эрбия (Er), диспрозия (Dy), гадолиния (Gd), европия (Eu), лютеция (Lu), самария (Sm), иттрия (Y,) и иттербия (Yb).
9. Деталь по п. 8, где REd выбран из тербия (Tb), эрбия (Er) и диспрозия (Dy).
10. Деталь по п. 7, в которой моносиликат редкоземельного элемента с формулой REc2SiO5 представлен во втором слое с молярным содержанием в диапазоне от 85% до 95%, и указанный по меньшей мере один оксид редкоземельного элемента с формулой REd2O3 представлен во втором слое с молярным содержанием в диапазоне от 5% до 15%.
11. Деталь по п. 6, в которой REc выбран из иттрия (Y) и иттербия (Yb).
12. Деталь по п. 7, в которой REa - это иттрий (Y), REc - это иттербий (Yb), а REb и REd независимы друг от друга, и выбраны из тербия (Tb), эрбия (Er) и диспрозия (Dy).
13. Деталь по п. 6, в которой защитный барьер дополнительно содержит третий слой между первым слоем и вторым слоем, причем третий слой содержит:
- дисиликат редкоземельного элемента с формулой REa2Si2O7 с молярным содержанием, равным A.Ta, где Ta - это молярное содержание REa2Si2O7 в первом слое;
- указанный по меньшей мере один оксид редкоземельного элемента с формулой REb2O3 с молярным содержанием, равным A.Tb, где Tb - это молярное содержание REb2O3 в первом слое; и
- моносиликат редкоземельного элемента с формулой REc2SiO5 с молярным содержанием, равным (1-A).Tc, где Tc - это молярное содержание REc2SiO5 во втором слое,
где A обозначает весовой коэффициент, который строго больше 0 и строго меньше 1.
14. Способ изготовления детали по п. 1, включающий по меньшей мере этап, на котором изготавливают первый слой защитного барьера на поверхности подложки.
15. Способ использования детали по п. 1, включающий по меньшей мере этап, на котором используют указанную часть при температуре выше или равной 800°C в среде, являющейся окислительной и влажной.
