Исправьте и отправьте на модерацию
Описание
Во времена Советского Союза для собственных нужд электронной, авиакосмической, атомной промышленности было произведено много установок типа УВН-71 (цилиндрическая камера с вертикальным подъёмом колпака), УВН-74 (цилиндрическая горизонтальная камера с открывающейся круглой фланцевой дверью), РЭ-70, ВУ-1, ВУ-2, Оратория (камера с прямоугольной фланцевой дверью) и пр. Несмотря на то, что данные установки морально (а зачастую и физически) устарели, многие из них используются в современном производстве, а с учётом отлаженных технологических процессов переход на современные установки потребует колоссальных вложений и займёт много времени.
НПО «ГКМП» предлагает создание аналогичных установок с габаритными характеристиками камеры и подколпачной оснастки, полностью идентичными существующим, но при этом оснащённых новейшей автоматизированной системой управления, откачной вакуумной системой, системой контроля параметров процесса напыления. Данные установки заменят имеющиеся без необходимости изменения техпроцесса, а применяемые современные комплектующие и материалы позволят увеличить срок службы и упростить обслуживание и ремонтопригодность. Также возможен вариант глубокой модернизации имеющихся установок, в процессе которого изменению подвергнутся только те системы, замена которых востребована заказчиком.
Характеристики
| Наименование параметра | Значение |
| Количество камер в установке: | 1 |
| Форма рабочей камеры: | цилиндрическая |
| Габариты рабочей зоны камеры:
- диаметр, мм: - длина, мм: |
150...600 200...1000 |
| Температура подогрева подложек, оС: | 50...400 |
| Метод распыления материала: | резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев, ионно-плазменное магнетронное распыление |
| Материалы подложек: | металлы, сплавы, керамика, стекло, монокристаллические пластины |
| Материалы нанесения: | металлы, сплавы, нитриды, двухкомпонентные соединения |
| Толщина наносимого покрытия, мкм: | 0,001...500 (определяется технологией) |
| Возможность вакуумной очистки тлеющим разрядом: | имеется |
| Возможность последовательного нанесения нескольких покрытий в одном процессе: | имеется |
| Типы применяемых откачных систем: | масляная (пластинчато-роторный + диффузионный насосы), безмасляная (сухой спиральный + турбомолекулярный насосы) |
| Типы датчиков контроля толщины напыления: | вибрационный, кварцевый, оптический (фотометрический), резистивный, емкостной, комбинированный |
| Расположение подложек в камере: | вертикальное, горизонтальное |
| Возможность карусельной обработки подложек: | имеется |
| Возможность двустороннего нанесения: | имеется |
| Возможность нанесения в ограниченном объёме: | имеется |
Похожие товары
Рекомендации
Подождите, вам будет интересно
Договорная цена
