Турбомолекулярные насосы shimadzu (япония)

Гибридные ТМН

PT-150

PT-300

PT-500

Размеры фланца

Вход

JIS VG 100

JIS VG 100

JIS VG 150

Выход

NW 25

NW 25

NW 40

Скорость откачки, л/с

Азот

190

300

550

Гелий

160

260

500

Max. коэффициент сжатия

Азот

108

108

108

Гелий

104

104

105

Предельное давление, Па (Торр)

10-8 (7,5*10-11)

10-8 (7,5*10-11)

10-8 (7,5*10-11)

Max давление, вход/выход, Па (Торр)

0,13/13 (9,8*10-4 / 9,8*10-2)

0,13/13 (9,8*10-4 / 9,8*10-2)

0,13/13 (9,8*10-4 / 9,8*10-2)

Скорость вращения, об/мин

72,000

54,000

40,200

Время разгона/торможения, мин

3/4

4/7

8/8

Смазка, объем

фтор, 10 мл

фтор, 10 мл

фтор, 10 мл

Охлаждение

воздушное/
водяное

воздушное/
водяное

воздушное/
водяное

Масса, кг

6

10

16