Турбомолекулярные насосы с подшипниками pfeiffer

Модель

HiPace 10

HiPace 60P

HiPace 80

HiPace 300

HiPace 400

HiPace 700

HiPace 800

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы

DN25
DN16

DN63
DN16
G1/8"

DN63
DN16
G1/8"

DN100
DN16
G1/8"

DN100
DN25
G1/8"

DN160
DN25
G1/8"

DN200
DN25
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)

10
6
3,7
11,5

64
48
28
63

67
58
48
66

260
255
220
255

355
470
445
320

685
655
555
665

790
700
580
780

Степень сжатия
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)

3*106
3*103
3*102
2,5*107

106
3,5*102
2*102
2*106

>1*1011
1,3*107
1,4*105
>1*1011

>1*1011
1*108
9*105
>1*1011

>1*1011
3*107
4*105
>1*1011

>1*1011
3*107
4*105
>1*1011

>1*1011
3*107
4*105
>1*1011

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 10-3 (7,5*10-6)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

2500 (18,8)

400 (3)

2200 (16,5)

2000 (15)

1100 (8,3)

1100 (8,3)

1100 (8,3)

Скорость вращения ротора, об/мин

90 000

90 000

90 000

60 000

49 200

49 200

49 200

Тип охлаждения
- стандартный
- опционально

естественное
воздушное

естественное
воздушное

воздушное
водяное

водяное
воздушное

водяное
воздушное

водяное
воздушное

водяное
воздушное

Питание/потребляемая мощность

24В/28,8 Вт

24В/110Вт

24В/110Вт

24В/300Вт

48В/420Вт

48В/420Вт

48В/420Вт

Масса, кг

1,8

2,2

2,4

5,8 - 8,7

11,6 - 17,5

11,5 - 17,4

12,8 - 19,1

Модель

HiPace 1200

HiPace 1500

HiPace 1800

HiPace 2300

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы

DN200
DN40
G1/8"

DN250
DN40
G1/8"

DN200
DN40
G1/8"

DN250
DN40
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)
- по Тетрахлорометану (CF4)

1 250
1 300
1 100
1 200
950

1 450
1 350
1 150
1 400
1 100

1 450
1 650
1 700
1 370
1 050

1 900
2 050
1 850
1 850
1 850

Степень сжатия
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)
- по Тетрахлорометану (CF4)

>1*108
2*105
6*103
>1*108
>1*108

>1*108
2*105
6*103
>1*108
>1*108

>1*108
3*105
2*104
>1*108
>1*108

>1*108
3*105
2*104
>1*108
>1*108

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

< 10-6 (7,5*10-9)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

200 (1,5)

200 (1,5)

180 (1,4)

180 (1,4)

Скорость вращения ротора, об/мин

37 800

37 800

31 500

31 500

Тип охлаждения

водяное

водяное

водяное

водяное

Питание/потребляемая мощность

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

220В/1,3кВт

Масса, кг

27 - 40

29 - 41

33 - 34

34 - 47

Характеристика

MDP 5011

MDP 5011СР
(хим. стойкий)

Скорость откачки, л/с

N2

7,5

He

4

H2

3

Степень сжатия

N2

1∙109

1∙106

Hе

2∙104

250

H2

1∙103

50

Минимальное остаточное давление, 
при работе без азотной продувки 
(Pneurop), Па (Торр)

При любом типе охлаждения насоса

1∙10-4

Максимальное давление на входе N2, Па (Торр)

Естественное охлаждение

10

Принудительное воздушное охлаждение

1000

Водяное охлаждение

1000

Максимальное давление на выхлопе, Па (Торр)

При любом типе охлаждения насоса

4000 (30)

500 (3,8)

Время запуска, мин

<1

Скорость ротора, об/мин.

27 000

Выхлопной фланец

DN16

Совместимый контроллер

ACT100

Масса насоса, кг

Естественное охлаждение

2,3

Принудительное воздушное охлаждение

3

Водяное охлаждение

2,5

Масса контроллера, кг

2

Эл. питание, В / Гц

220/50

Потребляемая мощность, Вт

75