Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе shimadzu

Модель

TMP-203

TMP-303

TMP-403

TMP-803

TMP-1003

TMP-2003

TMP-3203

Охлаждение

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

водяное / возд.

Предельный вакуум, Па (Торр)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

Максимальное  давление на входе (вода/воздух), Па (Торр)

200/1,3 (1,5/0,01)

200/1,3 (1,5/0,01)

200/1,3 (1,5/0,01)

400/1,3 (3/0,01)

400/1,3 (3/0,01)

67/0,4 (0,5/ 0,003)

40/0,4 (0,3/ 0,003)

Максимальное  давление на выходе (вода/воздух), Па (Торр)

400/40 (3/0,3)

400/40 (3/0,3)

400/40 (3/0,3)

667/40 (5/0,3)

667/40 (5/0,3)

267/40 (2/0,3)

267/40 (2/0,3)

Быстрота действия, л/с :

по азоту

190

320

420

800

1080

2000

3200

по гелию

140

340

360

800

930

1800

3000

по водороду

120

320

340

700

790

1600

2400

Степень сжатия:

по азоту

1*109

1*109

1*109

1*109

>1*109

1*109

1*109

по гелию

6*104

8*104

8*104

8*104

8*104

7*105

3*105

по водороду

4*103

1*104

1*104

4*103

4*103

1,4*104

1*104

Время выхода на режим, мин

Не более 5

Не более 9

Не более 13

Рабочая ориентация

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Любая

Температура прогрева на входном фланце, оС

<120

<120

<120

<120

<120

<120

<120

Входной фланец стандартов ISO, ConFlat

Ду100

Ду100

Ду160

Ду160

Ду200

Ду250

Ду320

Рекомендуемая быстрота действия форвакуумного насоса, л/мин (м3/ч)

>200 (>12)

>200 (>12)

>200 (>12)

>500 (>30)

>500 (>30)

>500 (>30)

>1500 (>90)

Масса, кг

9

14

14

31

32

55

70

Модель

TMP-1103MP

TMP-1103LMP

TMP-1103LMPC

TMP-W2403LMC

FT-3500D

H3153LMC

Охлаждение

воздушное

водяное

водяное

водяное

водяное

водяное

Предельный вакуум, Па (Торр)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-9 (10-11)

1,3*10-8 (10-10)

1,3*10-7 (10-9)

10-7 (7,5*10-10)

1.3*10-5 (10-7)

Максималь- ное давлен. на входе, Па (Торр)

1,3 (0,01)

6,7 (0,05)

66,7 (0,5)

40 (0,3)

По Ar: 2,1 (1,6*10-2)

1,33 (10-2)

Максим. давление на выходе, Па (Торр)

267 (2)

800 (6)

800 (6)

267 (2)

По Ar: 1330 (10)

270 (2)

Быстрота действия, л/с :

по азоту

1080

1080

1080

2100

2300

3270

2950

по аргону

1040

1040

1040

2000

-

-

-

по водороду

800

800

800

1770

-

-

3000

по гелию

-

-

-

2240

-

-

3000

Степень сжатия:

по азоту

>109

>109

>109

1*1011

5*109

>107

по аргону

107

107

107

По He: 4*106

-

-

по водороду

106

106

106

1*105

1*106

105 (по H2 и He)

Время  выхода на режим, мин

менее 5

менее 5

менее 5

менее 12

менее 18

менее 18

Рабочая ориентация

любая

любая

любая

любая

любая

любая

Темпера- тура прогрева на входном фланце, оС

<120

<120

<120

<120

40

<120

Входной
фланец стандартов ISO, ConFlat

Ду 200

Ду 200

Ду 200

Ду 250

JIS VG250

JIS VG350

ДУ 320

Масса, кг

32

32

32

72

88

80

Модель

TMP-V1704LM

TMP-V2304LM

TMP-V3304LM (F)

TMP-V3304LMC (F)

Охлаждение

Водяное

Предельный вакуум, Па (Торр)

10-7 (10-9)

10-6 (10-8)

10-7 (10-9)

10-7 (10-9)

Максимальное давление на входе, Па (Торр)

4,5 (0,03)

7 (0,05)

Максимальное давление на выходе, Па (Торр)

200 (1,5)

270 (2,0)

Быстрота действия, л/с

по азоту

1400

2100

3200

по аргону

1350

2000

3100

Степень сжатия

по азоту

108

109

по гелию

103

105

по водороду

102

103

Номинальная скорость, об/мин

33700

27600

Время выхода на режим, мин

менее 9

менее 16

Максимальный поток аргона, sccm

600

1900

Рабочая ориентация

любая

Максимальная температура на входном фланце, oС

< 120

Входной фланец

ISO200B

ISO250B

ISO320B

Выходной фланец

KF40

Масса, кг

60

56

94

Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса в случае продувки, л/мин (м3/ч)

>1500 (90)