Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе pfeiffer

Модель

HiPace 300 M

HiPace 700 M

HiPace 800 M

Фланец
- всасывания, ISO-K, ISO-F, CF
- выхлопа, ISO-KF
- напуска атмосферы

DN100
DN16
G1/8"

DN160
DN25
G1/8"

DN200
DN25
G1/8"

Скорость откачки, л/с
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)

255
215
170
250

685
600
480
660

790
625
500
775

Степень сжатия
- по Азоту (N2)
- по Гелию (Не)
- по Водороду (Н2)
- по Аргону (Ar)

>1*1011
>1*108
5*105
>1*1011

>1*1011
>1*107
2*105
>1*1011

>1*1011
>1*107
2*105
>1*1011

Предельное разряжение, Па (Торр)

< 1*10-5 (7.5*10-8)

< 1*10-5 (7.5*10-8)

< 1*10-5 (7.5*10-8)

Максимальное рабочее давление на выхлопе, Па (Торр)

2000 (15)

800 (6)

800 (6)

Скорость вращения ротора, об/мин

60 000

49 200

49 200

Тип охладения

водяное

водяное

водяное

Питание/потребляемая мощность

48В/300Вт

48В/300Вт

48В/300Вт

Масса, кг

13.1 - 17.2

15.7 - 20.8

17.1 - 21.5

Хар-ка

ATH
500M

ATH
1300M

ATH
1300MT*

ATH
1603M

ATH
1600MT*

ATH
2303M

ATH
2300MT*

ATH
2800M

ATH
2800MТ*

ATH
3200M

ATH
3200MТ*

Скорость вращения ротора,  об/мин

50 000

39 000

39 000

31 000

31 000

31 000

31 000

25 000

25 000

25 000

25 000

Входной фланец

DN 
100

DN 
160

DN 
160

DN 
200

DN 
160

DN 
200

DN
200

DN 
250

DN
200

DN
250

DN 
200

DN
250

DN 
200

DN 
200

DN 
250

DN 
250

DN 
320

DN 
320

Скорость откачки,  л/с

N2

340

500

920

1250

920

1250

1200

1220

1230

1270

1250

1850

1250

1850

2050

2050

2600

2600

Ar

270

500

920

1250

920

1250

1100

1150

1130

1180

1200

1750

1200

1750

2000

2000

2400

2400

He

270

340

810

850

810

850

960

960

960

960

1500

1600

1500

1600

2150

2150

2400

2400

H2

170

190

490

550

490

550

550

550

580

580

1200

1200

1200

1200

1750

1750

1800

1800

Степень сжатия

N2

2*107

107

107

6*107

6*107

>108

>108

>108

>108

>108

>108

Ar

8*106

107

107

6*107

6*107

>108

>108

>108

>108

>108

>108

He

104

103

103

8*103

8*103

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

H2

2*102

102

102

3*102

3*102

>103

>2*103

>2*103

>2*103

>2*103

>2*103

Предельное давление, Па (Торр)

<10-6 (7,5 *10-10)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

<6*10-7 (4,5 *10-9)

Макс. давление  на всасыван., Па (Торр)

130 (1)

50 (0,4)

50 (0,4)

40 (0,3)

2 (1,5 *10-2)

30 (0,2)

14 (0,1)

26 (0,2)

1 (7,5 *10-3)

26 (0,2)

1  (7,5 *10-3)

Макс. давление  на выхлопе, Па (Торр)

270 (2)

150 (1,1)

150 (1,1)

150 (1,1)

100 (0,8)

200 (1,5)

150 (1,1)

150 (1,1)

100 (0,8)

150 (1,1)

100 (0,8)

Макс. откачи-ваемый поток,  ст.см3/
мин.

2500

3000

3000

4000

1000

4000

1000

5000

1000

5000

1000

Охлажден.

Водяное

Рабочее положение

Любое

Выхлопной / Фланец продувки

DN40 / продувка - DN16

Время запуска,  мин

<2,5

<5

<5

6

6

8

8

10

10

10

10

Масса турбины, кг

17

34

34

34

34

60

60

85

85

85

85

Контрол- лер

Integrated

ACT1300M

ACT1300M

Mag- power/
OBC

ACT1300M/
OBC

Mag- power/
OBC

Mag- power/
OBC

Mag- power

Mag- power

Mag- power

Mag- power

Масса контрол- лера, кг

8

8

8

8

8,7

8,7

8,7

8,7

8,7

8,7

Питание контрол.

От 100 до 240В - 50/60Гц – однофазное

Характеристика

ATP 2300M

Присоединительный фланец

DN200, ISO F, CF

DN250, ISO F, CF

Скорость откачки, л/с

N2

1250

1750

Ar

1200

1650

He

1700

1800

H2

1700

1700

Степень сжатия

N2

108

Ar

108

He

105

H2

7*103

Частота вращения, об/мин

31 000

Минимальное остаточное давление, Па (Торр)

10-7 (7,5*10-10)

Макс. давление на входе, Па (Торр)

5 (0,04)

Макс. давление на выхлопе, Па (Торр)

150 (1,13)

Габаритные размеры, мм

Высота

290

Диаметр

315

Масса, кг

52