Турбомолекулярные насосы edwards (англия)

Описание

Модель насоса	Входной фланец	Быстрота откачки (N2), л/с	Быстрота откачки (He), л/с	Быстрота откачки (H2), л/с	Степерь сжатия (N2)	Степерь сжатия (He)	Степерь сжатия (H2)	Предельное остаточное давление, Па (Торр)
EXT75Dx	NW40	42	49	48	>1*1011	1*106	5*104	5×10-6 (3.7×10-8)
	ISO63-K	61	57	53				5×10-6 (3.7×10-8)
	ISO100-K	66	59	54				5×10-6 (3.7×10-8)
	DN63CF	61	57	53				5×10-7 (3.7×10-9)
EXT556H	ISO160-K	540	580	500	>1*1010	1*108	1*106	2×10-7 (1.5×10-9)
EXT556H	DN160CF	540	580	500	>1*1010	1*108	1*106	1×10-8 (7.5×10-11)

Турбомолекуляр. насосы с магнитным верхним и обслуживаемым нижним подшипником - nEXT300

Модель насоса	Входной фланец	Быстрота откачки (N2), л/с	Быстрота откачки (He), л/с	Быстрота откачки (H2), л/с	Степерь сжатия (N2)	Степерь сжатия (He)	Степерь сжатия (H2)	Предельное остаточное давление, Па (Торр)
nEXT240	ISO100-K	240	230	165	>1*1011	3*105	1*104	6×10-6 (4.5×10-8)
	DN100CF							5×10-8 (3.7×10-10)
nEXT300	ISO100-K	300	340	280	>1*1011	1*106	5*104	6×10-6 (4.5×10-8)
	DN100CF							5×10-8 (3.7×10-10)
nEXT400	ISO160-K	400	390	325	>1*1011	1*108	5*105	1×10-6 (7.5×10-9)
	DN160CF							1×10-8 (7.5×10-11)