Турбомолекулярные насосы edwards (англия)

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N2), л/с

Быстрота откачки (He), л/с

Быстрота откачки (H2), л/с

Степерь сжатия (N2)

Степерь сжатия (He)

Степерь сжатия (H2)

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

EXT75Dx

NW40

42

49

48

>1*1011

1*106

5*104

5×10-6 (3.7×10-8)

ISO63-K

61

57

53

5×10-6 (3.7×10-8)

ISO100-K

66

59

54

5×10-6 (3.7×10-8)

DN63CF

61

57

53

5×10-7 (3.7×10-9)

EXT556H

ISO160-K

540

580

500

>1*1010

1*108

1*106

2×10-7 (1.5×10-9)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N2), л/с

Быстрота откачки (He), л/с

Быстрота откачки (H2), л/с

Степерь сжатия (N2)

Степерь сжатия (He)

Степерь сжатия (H2)

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

nEXT240

ISO100-K

240

230

165

>1*1011

3*105

1*104

6×10-6 (4.5×10-8)

DN100CF

5×10-8 (3.7×10-10)

nEXT300

ISO100-K

300

340

280

>1*1011

1*106

5*104

6×10-6 (4.5×10-8)

DN100CF

5×10-8 (3.7×10-10)

nEXT400

ISO160-K

400

390

325

>1*1011

1*108

5*105

1×10-6 (7.5×10-9)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)