Турбомолекулярные насосы edwards

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки N2, л/с

Быстрота откачки H2, л/с

Быстрота откачки Ar, л/с

Степерь сжатия N2

Степерь сжатия H2

Max. газовый поток N2, sccm

Max. газовый поток Ar, sccm

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

STP-iX455

ISO100-K

300

300

-

>1*108

>1*104

-

-

6.5×10-6 (5×10-8)

DN100CF

1×10-8 (7.5×10-11)

ISO160-K

450

460

-

>1*108

>1*104

-

-

6.5×10-6 (5×10-8)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STP-iXR1606

ISO160-F

900

600

-

>1*108

1*103

4700

1800

1×10-7 (7.5×10-10)

VG150

ISO200-F/

ISO250-F

1600

1200

-

>1*108

1*103

4700

1800

1×10-7 (7.5×10-10)

VG200

STP-iXA2206C

ISO250-F

2200

-

1900

>1*108

1*104

3000

1400

1×10-7 (7.5×10-10)

DN250CF

STP-iXA3306C

ISO250-F

2650

-

2300

>1*108

2*103

4000

2100

1×10-7 (7.5×10-10)

DN250CF

ISO320-F

3200

-

2800

>1*108

2*103

4000

2100

1×10-7 (7.5×10-10)

DN320CF

STP-iXA4506C

ISO320-F

4000

2700

-

>1*108

1*103

4300

2600

1×10-7 (7.5×10-10)

Модель насоса

Входной фланец

Быстрота откачки (N2), л/с

Быстрота откачки (H2), л/с

Степерь сжатия N2

Степерь сжатия H2

Max. газовый поток N2, sccm

Max. газовый поток Ar, sccm

Предельное остаточное давление, Па (Торр)

STP301 / STP301C

ISO100-K

300

300

>1*108

>2*104

2500

-

6.5×10-6 (5×10-8)

DN100CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STPH451 / STPH451C

ISO160-F

480

300

>1*108

103

2500

-

6.5×10-6 (5×10-8)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STP603 / STP603C

ISO160-F

650

550

>1*108

>1*105

130

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN160CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STP1003 / STP1003C

ISO200-F

1000

800

>1*108

>1*105

130

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN200CF

1×10-8 (7.5×10-11)

STPA803C

ISO160-F

800

520

>1*108

1*103

1500

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN160CF

STPA1303C

ISO200-F

1300

800

>1*108

1*103

1500

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN200CF

STPA1603C

ISO200-F

1600

1200

>1*108

>7*103

2500

-

1×10-7 (7.5×10-10)

DN200CF

STPA2203C

ISO250-F

2200

1700

>1*108

>2,5*104

1500

-

1×10-6 (7.5×10-9)

DN250CF

STP-XA2703C

ISO250-F

2650

2050

>1*108

>6*103

2300

1900

1×10-7 (7.5×10-10)

DN250CF

STP-XA3203C

ISO320-F

3200

2300

>1*108

>6*103

2300

1900

1×10-7 (7.5×10-10)

DN320CF

STP-XA4503C

ISO320-F

4000

2500

>1*108

>6*103

2800

2150

1×10-7 (7.5×10-10)