Термодиффузионные установки

Описание

Термическая диффузия - физико-химический процесс, изменяющий структуру поверхности обрабатываемого изделия в условиях термостабилизации и контролируемой атмосферы.

В настоящее время ООО «НПО «ГКМП» является единственным отечественным производителем термодиффузионных установок типа СДОМ, предназначенных для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 100 мм. Возможно изготовление установок для обработки пластин диаметром до 150 мм, в перспективе разрабатываются установки для термодиффузии пластин диаметром 200 мм и 300 мм.

В зависимости от требований заказчика, в термодиффузионных установках возможна реализация процессов окисления (в том числе и пирогенного) и диффузии с применением различных окислителей и диффузантов (азота, хлора, мышьяка, фосфора, бора и пр.)

Нагревательные элементы, применяемые в установках типа СД.ОМ имеют уникальную конструкцию и наматываются из проволоки специальных марок высокотемпературных сплавов (еврофехраль, kanthal, kanthal A1). Намотка производится в горячем состоянии по специально разработанному технологическому циклу, что значительно уменьшает остаточную деформацию полученного нагревателя и продлевает его срок службы.

Особенности установок типа СД.ОМ:

количество нагревательных камер: 2 или 3;
максимальная температура процесса: 1250°С;
длина рабочей тепловой зоны: 600 мм;
погрешность распределения температурного поля: ±1°С;
погрешность воспроизведения температуры: ±1°С;
материал нагревательных элементов: Kanthal или еврофехраль;
загрузка и выгрузка: ручная или с помощью встроенных загрузчиков;
современная автоматизированная система управления процессом;
независимая работа каждого реактора;
энергоэффективная система силового питания нагревателей;
точная система регулирования расхода окислителей и диффузантов.

Характеристики

Наименование параметра	Значение
Количество камер в установке:	1, 2, 3 или 4
Форма рабочей камеры:	цилиндрическая
Габариты рабочей зоны камеры: - диаметр, мм: - длина, мм:	100, 150 (200 и 300 в разработке) 600* (по требованию заказчика)
Диапазон рабочих температур в камере нагрева, оС:	100...1250
Способ нагрева:	резистивный
Допустимая масса садки с деталями, кг:	1...15
Диапазон скоростей нагрева/охлаждения, оС/мин:	1…20
Проводимые процессы:	диффузия, окисление (в т.ч. пирогенное)
Количество входов для рабочих газов:	2...8
Доступные операции с рабочими газами:	смешение, увлажнение
Минимальное процентное содержание каждого газа при смешении:	5%
Диапазон автоматической регулировки расхода каждого газа, л/мин:	20...600
Возможность установки дополнительных барбатёров с жидким диффузантом:	имеется
Возможность установки системы загрузки-выгрузки с возможностью встряхивания:	имеется
Равномерность температуры в рабочем пространстве без загрузки электропечи при автоматическом контроле поддержания температуры в установившемся режиме, оС, не хуже:	±1±0,0005t
Стабильность поддержания рабочей температуры в рабочей зоне при управлении нагревом в автоматическом режиме, оС, не хуже:	±1±0,0005t