В газоразрядных камерах зажигаются плазменные разряды необходимой плотности. Далее с помощью ионно-оптической системы облако заряженных частиц разделяется на ионы и электроны, которые направляются далее в систему.
Подобные камеры часто являются составной частью технологических напылительных комплексов или ускорителей заряженных частиц.
Подождите, вам будет интересно
Договорная цена