
В автоматизированных машинах Микро МЛ5-2 каждый из 2-х зондов устанавливается на управляемом от компьютера XY координатном столе с Z-микролифтом, позиционирование пятна и выполнение подгоночного реза обеспечивается прецизионным 2-х осевым гальваносканером или координатным столом, а подгонка резистивных структур осуществляется автоматически по заданным траекториям реза.
Операции лазерной подгонки резисторов, реализуемой путем автоматического позиционирования и установки каждого из двух зондов на контактные площадки ГИС или подложки с последующей подгонкой резистивных структур по заданным координатам и тракетории реза.
Обрабатываемые материалы: подгонка сопротивлений выполненных по тонкопленочной или толстопленочной технологии изготовления резисторов ГИС на стандартных подложках из поликора, ситалла или керамики.
Параметры
Общеконструктивная часть |
||
---|---|---|
Опорный каркас |
+ |
|
Рабочее место оператора: монитор и пульт управления |
с возможностью регулировки по углу наклона и расстоянию от оператора |
|
Защитный козырек от лазерного излучения |
+ |
|
Габаритные размеры машины в сборе, мм |
1100*1200*1500 |
|
Координатно-кинематический модуль |
||
Модуль автоматизированного перемещения зондов |
||
Автоматизированные координатные столы для перемещения зондов по осям XY |
+ |
|
Количество комплектов столов, |
2 |
|
Рабочее поле координатного стола XY, мм, |
60× 60 |
|
Точность позиционирования по осям , XY мкм, не хуже |
10 |
|
Расчетный шаг перемещения по координатам XY, мкм |
2 |
|
Точность позиционирования зонда на контактные площадки, мкм |
10 |
|
Скорость перемещения зондов, мм/сек |
0,01 … 10 |
|
Микролифты для перемещения зондов по оси Z |
В наличии |
|
Диапазон перемещений зондов по оси Z1, мм, не менее |
5 |
|
Модуль выполнения подгоночного реза |
||
|
Исполнение «С» Координатный стол |
Исполнение «Г» Гальваносканер |
Тип |
Рамочный стол на ШВП |
Huurryscan c RTC 4 |
Рабочее поле в плоскости XY, мм, |
100×100 |
60х60 |
Точность позиционирования по осям, XY мкм, не хуже |
4-6 |
1-2 |
Шаг перемещения по координатам XY, мкм |
1,0 |
0.5 |
Скорость перемещения предметного стола, мм/сек |
0,01 … 10 |
|
Лазерно-оптический модуль |
|
|
|
Исполнение «Д» твердотельный лазер с диодной накачкой |
Исполнение «В» Волоконный лазер |
Тип лазера |
TECH-1053 Basic |
Иттербиевый волоконный High Contrast |
Длина волны излучения, мкм |
1.06±0.1 |
1.02-1.07 |
Длительность импульса, нсек, не более |
5 |
100 |
Частота повторения импульсов, Гц, регулируемая |
0,01-1 кГц |
0.01-50 |
Средняя мощность, Вт, до |
3 |
10 |
TВ–канал системы визуального прицеливания и контроля |
+ |
|
Увеличение телевизионной оптической системы (с объективом f=100мм), крат |
30 |
|
Линейное поле зрения, мм |
6 |
|
Светодиодная подсветка зоны обработки |
+ |
|
Технологический модуль |
||
Предметный стол с прецизионной подстройкой платформы столика по углу и высоте. |
+ |
|
Диапазон угловой подстройки платформы предметного столика φ, º |
±10 |
|
Диапазон подстройки (точной юстировки) платформы предметного столика оси Z,мкм |
5 |
|
Комплект из 2-х измерительных зондов |
+ |
|
Размеры плат закрепляемых на приспособлении, мм |
60*48 |
|
Модуль управления |
||
Двухкоординатный джойстики-манипулятор с устройствами обеспечивающим режим ускоренного перемещения |
3 шт. |
|
Высокоскоростная цифровая измерительная система (ЦИС). |
+ |
|
Диапазон сопротивления подгоняемых резисторов, Ом |
1.0 …10 |
|
Допускаемая основная погрешность контроля резистора Rx (ДОП): в диапазоне 1,0…9,99 Ом, %, не хуже в диапазоне 10…99,9 Ом, %, не хуже в диапазоне 102…9,99×105 Ом, %, не хуже в диапазоне 1х106…9,99х106 Ом, %, не хуже Допускаемая доп. погрешность (ДДП) измерений, вызванная изменением напряжения питания на ±10 %. |
± [0.5+0.02(R/Rx-1)]* ± [0.2+0.01(R/Rx-1)]* ±[0.1+0.005(R/Rx-1)]* ± [0.3+0.02(R/Rx-1)]*
не превышает ДОП в выбранном диапазоне. |
|
Цепь обратной связи ЦИС с системой управления лазером |
+ |
|
Управляющий компьютер с монитором, клавиатурой и «мышью» |
+ |
|
Операционная система |
Windows |
|
Управляющая программа |
«ML53.rus». |
|
Режимы перемещений и ввода координат постановки измерительных зoндoв и сканатора: -Перемещение каждого из зондов по командам от компьютера по заданному алгоритму (чертежу). - Предотвращение пересечения зон перемещений зондов. - Ручной режим перемещений (перемещение зондов и сканатора производится вручную c последующим заданием координат их места положения). - Режим перемещений путем задания координат пo электронному чертежу (производится загрузка и отображение данных электронного чертёжа cтaндаpтныx форматов *.dwg, *.dxf, *.plt, в ПО установки, после чего указанием нужных позиций на чертеже производится задание соответствующих координат). |
||
Виды выполнения траектории подгонки: - Резка перемычек (излучение лазера не зависит от результатов измерения резистора); - Ручной режим подгонки с помощью джойстик-манипулятора (при достижении заданного номинала излучение лазера прекращается); - Полуавтоматический режим подгонки c ручным выполнением траектории реза при котором позиционирование стола осуществляется в соответствии с заданными координатами, а траектория peза формируется вручную; Автоматический режим с автоматическим выполнением траектории реза при котором позиционирование стола выполняется в соответствии с заданными координатами, а траектория реза формируется автоматически в соответствии с заданными параметрами. Автоматическое выполнение траектории заранее заданной стандартной фopмы c указанными длинами плеч (I, Ii, L или J - peзы) либо формы, заданной чертежом в формате *.lml /*.lmc; |
||
Основные режимы работы и функции ПО:
|
Подождите, вам будет интересно
Договорная цена